用途例『マイクロエレクトロニクスにおけるスラリーシステム』

CMPスラリーに最適なバルブのご提案

CMPスラリーのアプリケーションには極めて厳しい仕様要求があります。GEMÜのコンポーネントはその要求を満たしながら,流量を最大化する構造を持ち,研磨性スラリーを安全に運びます。 このアプリケーションには,GEMÜよりPFA製のダイアフラムバルブ,グローブバルブ,計測器,フィッティングチューブをご提案できます。...※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社

アプリケーション例『 溶剤の供給』

溶剤供給システム向けのバルブをご提案

半導体産業では,物質の溶解や洗浄のために有機溶剤が使用されています。 洗浄に用いられる溶剤は特に腐食性が強く,取り扱いが困難なため,バルブには高い耐薬品性が求められます。 GEMÜは高いKv値と耐薬品性を兼ね備えた製品群を提供致します。 製品は純度を保つため,原則としてステンレスおよびPFAで製作しています。 ...※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社

アプリケーション例『 ウェットプロセス』

ケミカルリキッドのハンドリングに最適なバルブをご提案

ウェットプロセスとは生産システムの中で液体,特にケミカルリキッドを施用する工程を指し,半導体製造のコアとなる工程です。 GEMÜ製品は接液部がPTFEまたはPFAによってできており,腐食性ケミカルに影響を受けない高い耐薬品性を持ちます。 また,省スペース,フレキシブルでコンパクトなデザイン,そして圧力損失を抑えた高い流量能力といった付加価値も提供いたします。...※詳しくはPDF資料を...

メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社

アプリケーション例『集積回路製造プラントのウェットプロセス』

腐食性ケミカルに最適なバルブをご提案

GEMÜのバルブ,計測器,制御システムはウェットプロセスに使われるような腐食性ケミカルに接しても素材の溶出を起こさず,流体の純度を高いまま保持します。 GEMÜ社よりPFA製のダイアフラムバルブ,ブロックバルブ,圧力計,超音波流量計が提案できます。 ...※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社

コリオリ式マスフローコントローラ/メータ Quantim QMC

第3世代の新しいQuantim QMC コリオリ式流量計は、微少流量の…

Quantim(R) QMC コリオリ式マスフローコントローラとメータは、微少流量の気体や液体に対して極めて正確で安定した、再現性のある測定と制御を実現します。この第3世代の新しいQuantim QMC コリオリ式マスフローコントローラとメータは、プロセスの品質、生産の歩留まり、スループットを高めることで、ラボからパイロットプラント、生産までのスケールアップ期間の短縮に貢献します。 新しいQ...

メーカー・取り扱い企業： ITWジャパン株式会社

マスフローコントローラ/メータ『GF40シリーズ』

デバイス1台でさまざまなガスと流量に対応し、柔軟な対応を実現しました！

『GF40シリーズ』は、当社独自のMultiFloテクノロジーを搭載したサーマル式のマスフロー コントローラ/メータです。 さまざまなガスを使用する場合、ガスの種類を頻繁に変更する場合、制御精度は維持したまま、 フルスケールレンジを変更する必要のあるシステムやプロセスに好適です。 MultiFloテクノロジーは、比類のない柔軟性を提供します。 1台のデバイスで、数千パターンの異な...

メーカー・取り扱い企業： ITWジャパン株式会社

サービス＆サポート

信頼できる製品、専門性の高いサービス！機器を“新品同様の状態”に再生し…

当社は、流量制御の深い知識、電気および機械工学の強力なバックグラウンド、 およびバイオテクノロジーの分野における制御システムの深い理解を持つ 経験豊富な技術サポートメンバーを擁しています。 数十年にわたる豊富な経験を有し、機器を“新品同様の状態”に再生。 機器校正サービスのエキスパートが、校正証明書を発行します。 お客様のサービスおよびインストールに関するご要望は、 お気軽にお...

メーカー・取り扱い企業： ITWジャパン株式会社