導入機『ベローズ式直進導入機　手動タイプ(ILD-M)』

基板用ステージの昇降・ウェハーの搬送に！入江工研のベローズ式直線導入機

『ベローズ式直線導入機』は、高性能の溶接ベローズを内蔵し、 長ストロークを可能にした直線方向に駆動するタイプの導入機です。 基板用ステージの昇降やウェハーの搬送などにご使用いただいております。 他にも、自動式のものもご用意しているので、ニーズに合わせてご利用ください。 【特長】 ■入江工研製の溶接ベローズを内蔵し、ストロークを30～200mmまで規格化 ■駆動部シールに溶接ベロ...

メーカー・取り扱い企業： 入江工研株式会社

導入機『コンパクト回転導入機(IRC)』

コンパクトタイプの回転導入機！基板用ステージの昇降・ウェハーの搬送に！

『コンパクト回転導入機(IRC)』は、高性能の溶接ベローズを内蔵し、 高真空を遮断し、回転運動を伝えるためのユニットです。 真空と大気の遮断には金属製の溶接ベローズを用いているので、 超高真空領域までご使用いただけます。 回転位置決め精度(無負荷時)が2°±0.5°のこちらのコンパクト回転導入機の他にも、 0.5°の高精度回転導入機もご用意致しております。 【特長】 ■入...

メーカー・取り扱い企業： 入江工研株式会社