マスフローコントローラ　MODEL8700/3660SERIES

温度や圧力の影響を受けにくく、高精度な流量の計測や制御が可能！　N2、…

【標準仕様（抜粋）】 ■バルブ方式：比例ソレノイドバルブ（非通電時 閉） ■入口最大圧：500kPa（G） ■許容周囲温度：5～45℃ ■重量 　・8700MC/MM：約1200g 　・8750MC/MM：約1500g 　・3660：約...

メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡

MODEL 8700 SERIES

表示器一体型で各種機能使用可能！マスフローコントローラ/メータをご紹介

【標準仕様（抜粋）】 ■センサ方式：熱式巻線センサ ■バルブ方式：比例ソレノイドバルブ（非通電時 閉） ■入口最大圧：500kPa（G） ■許容周囲温度：5～45℃ ■重量 　・8700MC/MM：約1200g 　・8750MC/MM：約1500g ※詳しくはP...

メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡

MODEL 3660 SERIES

N2、Air、H2、He等が対象！幅広い流量レンジに対応するスタンダー…

【標準仕様（抜粋）】 ■バルブ方式：比例ソレノイドバルブ（非通電時 閉） ■再現性：±0.5％F.S ■入口最大圧：500kPa（G） ■許容周囲温度：5～45℃ ■重量 　・3660：約1000g 　・3665：約1500g ※...

メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡

MODEL 3200 SERIES

デッドボリューム低減！精度±1％F.S.のハイグレードマスフローコント…

【標準仕様（抜粋）】 ■バルブ方式：比例ソレノイドバルブ（非通電時 閉） ■制御範囲：2～100％F.S. ■応答性：1sec以内（within±2％F.S.） ■入口最大圧：300kPa（G） ■許容周囲温度：0～50℃ ■重量：約10...

メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡

MODEL 5100 SERIES

デッドボリューム低減！最大流量1SCCM～20SLMのメタルシールマス…

【標準仕様（抜粋）】 ■センサ方式：熱式巻線センサ ■バルブ方式：比例ソレノイドバルブ（非通電時 閉） ■制御範囲：2～100％F.S. ■許容周囲温度：0～50℃ ■接ガス部材質：SUS316L、Ni、PTFE、Au ■重量：約1000g ※詳しくはPDF資料を...

メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡

MODEL HFC-303 SERIES

N2換算でF.S.1000SLMまでの大流量に対応！マスフローコントロ…

当社で取り扱う、大流量用マスフローコントローラ『MODEL HFC-303 SERIES』 をご紹介します。 N2換算でF.S.1000SLMまでの大流量に対応。対象流体はN2、Air、H2、He、 Ar、O2、CO2等（気体）、最大流量は100～1000SLM（気体）となっております。 ご用命の際はお気軽にご相談ください。 【標準仕様（抜粋）】 ■センサ方式：熱式巻線セン...

メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡