原子層蒸着(ALD)用バルブ ALD20

さらなる領域へ、ALDバルブ技術のブレイクスルー

Swagelok 原子層蒸着(ALD)用バルブは、高速開閉と再現性に高い作動機能を有し、非常に優れたサイクル・ライフを実現します。さらなる微細化・高度化へのニーズに対応すべく、大流量・高温用途向けの「ALD 20」を製品ラインアップに追加しま...

メーカー・取り扱い企業： スウェージロック・ジャパン

【新製品】超高純度用ダイヤフラム・バルブ『ALD7』

数百万サイクルにわたり、ALD用プリカーサーの高精度供給を実現。半導体…

超高純度用ダイヤフラム・バルブ『ALD7』は、 半導体製造の原子層蒸着(ALD)に必要なプリカーサーなど 超高純度の流体を、高精度で安定供給できるバルブです。 製品ごとの個体差を減らしたことで、 流量、アクチュエー...

メーカー・取り扱い企業： スウェージロック・ジャパン

『原子層蒸着(ALD)用バルブ』※性能テスト結果付き技術資料進呈

高速開閉、非常に優れたサイクル・ライフ。大流量や高温環境、腐食性流体に…

スウェージロック社は、ALDバルブ技術で世界をリードする企業のひとつとして、 半導体デバイス製造アプリケーション向けのソリューションをお届けします。 【特長】 ○非常に優れたサイクル・ライフを実現する独自のデザイン ○...

メーカー・取り扱い企業： スウェージロック・ジャパン

流路選択システム プロセス分析用（SSVシリーズ）

プロセス分析器試料採取システム用のモジュラー・アセンブリー

定した二次側流量を実現します。流路の数に関係なく、すべての流量を一定に保ちます。 ●コンパクトなデザイン 　モジュラー・テクノロジーのコンセプトに基づき、ダブル・ブロックとブリードを行うバルブ機能と、アクチュエーターの作動機能を1つのコンパクトなモジュール内に収容したデザイン ...

メーカー・取り扱い企業： スウェージロック・ジャパン