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総合カタログ『流体計測制御機器』進呈！【セミコンジャパン出展】
『流体計測制御機器』を多数掲載！選定方法の記載もあり、使用環境に適した…
ます。 各種流体計測機器の原理や選定の手引きも掲載しており、製品の選定にお役立てください。 【掲載内容】 ■マスフローコントローラ/メータ（電子式流量計） ■フローメータ ■流量制御バルブ ■圧力制御バルブ ■その他配管部品 ■ガス発生装置/エンジニアリング装置 ＜セミコンジャパン2023に出展します！＞ 半導体洗浄装置等の清浄度を要求されるプロセスに向けて開発中のク...
メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡
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上部ニードルバルブ仕様対応！5～55℃で使用可能なフォトセンサ付フロー…
『MODEL RK1812/RK1814 SERIES』は、±2％F.S.以下の高精度な計測が 可能なフローメータです。 フォトセンサによる警報機能あり。非回転構造の精密ニードルバルブにより 優れた制御性能を有します。 また、上部ニードルバルブ仕様にも対応しております。 【特長】 ■フォトセンサによる警報機能あり ■±2％F.S.以下の高精度な計測が可能 ■...
メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡
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積算パルス出力あり！アラーム設定など、各種機能を使用できるローコストマ…
示器一体型のローコストマスフロー メータです。 瞬時/積算流量表示、アラーム設定など各種機能を使用可能。アナログ出力 4-20mA/1-5VDCを選択いただけます。 また、ニードルバルブあり仕様であれば流量の制御もできます。 【特長】 ■対象流体：気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ■最大流量：気体 10SCCM～100SLM ■精度：±2～3％F....
メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡
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MODEL RK1970/RK1975/RK1976SERIES
バルブ有り・無しタイプをご用意！リードスイッチ付フローメータをご紹介
『MODEL RK1970/RK1975/RK1976 SERIES』は、上部ニードルバルブ仕様に 対応するフローメータです。 リードスイッチによる警報機能あり。対象流体はN2、Air、H2、He、Ar、 O2、CO2等の気体、H2O（液体）です。 接流体部にはSUS31...
メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡
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コンパクトリードアウトユニット『MODEL CR-400B』
瞬時/積算流量表示やアラーム設定など、表示器操作で各種機能使用可能！
『MODEL CR-400B』は、マスフローコントローラ/メータ用電源及び 流量設定表示器です。 瞬時/積算流量表示、アラーム設定、マスフローコントローラのバルブ強制 開閉など、各種機能を使用可能。 RS485通信機能やアナログ入出力0-5VDCによる外部からの操作もできます。 【特長】 ■マスフローコントローラ/メータ用電源及び流量設定表...
メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡
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ニードルバルブあり仕様であれば流量の制御も可能！デジタルマスフローメー…
『EXE-FLOW MODEL EX-700R SERIES』は、表示器一体型で各種機能を 使用できるデジタルマスフローメータです。 ニードルバルブあり仕様であれば流量の制御も可能。 RS485通信機能、アナログ出力4-20mA（0-5VDC/1-5VDCに変更可能）、 積算パルス出力を有しております。 【特長】 ■対象流体：...
メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡
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精度±2%F.S.で最高使用温度は40℃！ボンベレギュレータの取付が可…
フローメータです。 対象流体は、N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2 等の気体。 最大流量は10mL/min～20L/minとなっています。 また、非回転構造の精密ニードルバルブにより優れた 制御性能を有しています。 【標準仕様(一部)】 ■対象流体：N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ■最大流量(Air 大気圧) ・10、50、100、500...
メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡
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フレキシブルフローメータ『MODEL RK1100SERIES』
上部ニードルバルブ仕様対応！N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO…
『MODEL RK1100 SERIES』は、分解組立が可能なフレキシブル フローメータです。 上部ニードルバルブ仕様対応。非回転構造の精密ニードルバルブを 選択できます。 対象流体はN2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等の気体、最大流量は 10mL/min～20L/minとなっております。...
メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡
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ベローズシール型のニードルバルブにより低リーク！微少流量から対応します…
『MODEL RK1500 SERIES』は、±2％F.S.以下の高精度な計測ができる フローメータです。 微少流量から対応。非回転構造の精密ニードルバルブにより優れた 制御性能を有します。 対象流体はN2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等の気体、H2O（液体）と なっております。 【特長】 ■ベローズシール型のニードルバル...
メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡
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精密ニードルバルブ付！豊富なバリエーションで様々な使用条件に対応します
『MODEL RK1200 SERIES』は、微少流量から幅広い流量レンジに 対応するフローメータです。 非回転構造の精密ニードルバルブにより優れた制御性能を有し、 ±2％F.S.以下の高精度な計測が可能。 対象流体はN2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等の気体、H2O（液体）です。 【特長】 ■微少流量か...
メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡
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マルチフローメータ『MODEL RK120X SERIES』
1台で2～4ラインのガスの計測制御が可能！微少流量から対応するマルチフ…
『MODEL RK120X SERIES』は、スタンド取付ができるニードルバルブ付 マルチフローメータです。 1台で2～4ラインのガスの計測制御が可能。±2％F.S.以下の高精度な 計測が行えます。 また、非回転構造の精密ニードルバルブにより優れた制御性能を有...
メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡
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スタンド付フローメータ『MODEL RK1310 SERIES』
最高使用温度は60℃！非回転構造の精密ニードルバルブにより優れた制御性…
『MODEL RK1310 SERIES』は、±2％以下の高精度な計測ができる スタンド付フローメータです。 微少流量から対応。非回転構造の精密ニードルバルブにより優れた 制御性能を有します。 対象流体はN2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等の気体、H2O（液体） となっております。 【特長】 ■スタンド付き ■微少流量から...
メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡
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MODEL RK2000/RK2005/RK2006SERIES
リードスイッチによる警報機能あり！精度±5％F.S.の大流量用フローメ…
『MODEL RK2000/RK2005/RK2006 SERIES』は、上部ニードルバルブ仕様に 対応する大流量用フローメータです。 リードスイッチによる警報機能あり。対象流体はN2、Air、H2、He、Ar、 O2、CO2等の気体、H2O（液体）です。 また、バルブ有...
メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡
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マルチフローメータ『MODEL RK120XM SERIES』
非回転構造の精密ニードルバルブにより優れた制御性能！2～4ラインの簡易…
『MODEL RK120XM SERIES』は、ガス混合用のマルチフローメータです。 スタンド取付でき、±2％F.S.以下の高精度な計測が可能。非回転構造の 精密ニードルバルブにより優れた制御性能を有しています。 また、対象流体は、N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等の気体で、最大流量 50mL/min～10L/min(1ライン10L/min以下、トー...
メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡
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パージフローメータ『MODEL RK1600R SERIES』
ニードルバルブ付！N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等の気体…
『MODEL RK1600R SERIES』は、コンパクト設計のニードルバルブ付 パージフローメータです。 対象流体はN2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等の気体、最大流量は 1～20L/minとなっております。 ご用命の際は、当社までお気軽にご相談...
メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡
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N2、Air、H2、He等が対象！幅広い流量レンジに対応するスタンダー…
【標準仕様（抜粋）】 ■バルブ方式：比例ソレノイドバルブ（非通電時 閉） ■再現性：±0.5％F.S ■入口最大圧：500kPa（G） ■許容周囲温度：5～45℃ ■重量 ・3660：約1000g ・3665：...
メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡
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表示器一体型で各種機能使用可能！マスフローコントローラ/メータをご紹介
【標準仕様（抜粋）】 ■センサ方式：熱式巻線センサ ■バルブ方式：比例ソレノイドバルブ（非通電時 閉） ■入口最大圧：500kPa（G） ■許容周囲温度：5～45℃ ■重量 ・8700MC/MM：約1200g ・8750MC/MM：約1500...
メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡
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デッドボリューム低減！精度±1％F.S.のハイグレードマスフローコント…
『MODEL 3200 SERIES』は、N2換算でF.S.1SCCMからの微少流量に対応する ハイグレードマスフローコントローラです。 ダイヤフラムシートバルブによりデッドボリュームを低減。 対象流体はN2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等、最大流量は1SCCM～20SLM となっております。 【特長】 ■対象流体：気体 N2、A...
メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡
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デッドボリューム低減！最大流量1SCCM～20SLMのメタルシールマス…
『MODEL 5100 SERIES』は、N2換算でF.S.1SCCMからの微少流量に対応する メタルシールマスフローコントローラです。 ダイヤフラムシートバルブによりデッドボリュームを低減。 対象流体はN2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等、最大流量は1SCCM～20SLMと なっております。 【特長】 ■対象流体：気体 N2、A...
メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡
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N2換算でF.S.1000SLMまでの大流量に対応！マスフローコントロ…
r、O2、CO2等（気体）、最大流量は100～1000SLM（気体）となっております。 ご用命の際はお気軽にご相談ください。 【標準仕様（抜粋）】 ■センサ方式：熱式巻線センサ ■バルブ方式：比例ソレノイド＋空圧2段バルブ（非通電時 閉） ■精度：±1%F.S. （25℃） ■許容周囲温度：5～45℃ ■電気接続：D-sub15ピン ■重量：約2400g ※詳しくは...
メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡
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