マスフローコントローラ/メータ『5850E/iシリーズ』

長期安定性に優れ、生産の的確性を維持！信頼性、精度、繰り返し性の高い測…

『5850E/iシリーズ』は、エラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/ メータです。 数十年に渡って、世界中の数千種類ものアプリケーションでアクティブに 使用された実績を持つ本シリーズは、独自の安定した流量センサを備え、 現代の要求の厳しい工業...

メーカー・取り扱い企業： ITWジャパン株式会社

高圧用　スマートシリーズマスフローコントローラ　SLA5850

アナログとデジタルの両方のインターフェイスを搭載

特徴的なバルブ構造により 30MPaまでの超高圧仕様にも対応可能な、マスフローコントローラ

メーカー・取り扱い企業： 川口液化ケミカル株式会社 川口事業所

最大1.0MPa(10bar)でも制御可能マスフローコントローラ

最大差圧1.0MPa（10bar）でも制御可能、一台で30-1500L…

高差圧でもレンジアビリティ1:50で制御可能な気体向けマスフローコントローラです。高速応答（最速0.5秒以内）で高精度の流量センサと、豊富なラインナップを取り揃えた流量制御弁（比例電磁弁）を組み合わせ、高性能を実現！ 本製品Type8626は、 ●最大差圧...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社

低コスト化も実現可能！IoT時代のマスフローコントローラ

小～大流量を1台で制御！微小～高差圧(10kPa～1.0MPa)にも対…

Industry4.0で注目されるドイツ製造業。ドイツの老舗流体制御機器メーカーのビュルケルトから、IoT時代に対応したマスフローコントローラのご提案です！ 【1台で何役もこなします！】 ●小流量から大流量まで（例えば20～1500Nl/min(N2)）を一台で制御可能 ●インライン式センサ搭載により10kPaの低差圧...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社

少量から大流量を１台で制御可能なマスフローコントローラ

1台で30-1500L/minを制御できる気体向けマスフローコントロー…

レンジアビリティ1:50で制御可能な気体向けマスフローコントローラです。高速応答（最速0.5秒以内）で高精度の流量センサと、豊富なラインナップを取り揃えた流量制御弁（比例電磁弁）を組み合わせ、高性能を実現！ 本製品Type8626は、 ●最大差圧...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社

EtherCAT対応マスフローコントローラ　MC-5000C

EtherCATに対応した高精度マスフローコントローラです

当社独自の自己温度補正方式のセンサを採用（米国、日本特許）し、各種面実装規格（1.125インチ）に対応したEtherCAT対応のマスフローコントローラ 【特長】 ○デジタルインターフェイスのデジタルマスフローコントローラ 　 (SEMI E54. 20-1108) ○高性能（メタルシール、ピエゾバルブ、高精度、マルチガス対応...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所

Type8626マスフローコントローラ

素早く設定流量に安定させる、気体用マスフローコントローラです。

高速応答（最速0.5秒以内）で高精度の流量センサと、豊富なラインナップを取り揃えた流量制御弁（比例電磁弁）を組み合わせ、高性能を実現したマスフローコントローラ／マスフローメータです。 本製品Type8626は、最大1500L/minまで制御可能な、大流量用のマスフローコントローラです。 保護等級　IP 65　取得機種です。 ...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社

Type8711マスフローコントローラ

素早く設定流量に安定させる、気体用マスフローコントローラです。

高速応答（最速0.3秒以内）で高精度の流量センサと、豊富なラインナップを取り揃えた流量制御弁（比例電磁弁）を組み合わせ、高性能を実現したマスフローコントローラ／マスフローメータです。 本製品Type8711は、最小20cc/minから制御可能な、微少流量用のマスフローコントローラです。 ...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社

ALICATマスフローコントローラ(低圧力損失タイプ)納期4週間

非常に小さな差圧で計測し、圧力損失が非常に小さく、低圧で使用する環境に…

『MCW/MCRWシリーズ』は、非常に小さな差圧で計測が可能なため、圧力損失も非常に小さく、低圧でご使用される環境に最適なALICAT(アリキャット)社製のマスフローコントローラーです。 ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 この他に、腐食性ガス／冷媒ガスを含め128種類のガスに...

メーカー・取り扱い企業： 日本スターテクノ株式会社

0.3秒で追従する高速応答MFC(マスフローコントローラ)

設定流量の変更時、0.3秒以内の高速応答が可能です。 圧力レンジも広…

産業用マスフローコントローラはビュルケルト！ 半導体業界向けのマスフローとは異なる、多様な仕様を必要とする産業へ向けた、他社とは一線を画した各種スペックを誇るマスフローです。 応答速度以外にも 【ビュル...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社

mini CORI-FLOW マスフローコントローラ（流量計）

センサー応答が高速のため、高速制御が可能になったマスフローコントローラ…

「mini CORI-FLOW(R) マスフローコントローラ（流量計）」は、高安定制御出力、高速応答の特徴を有しています。 センサー応答が高速(50…200msec)のため、高速制御が可能になりました。 従って例えば、分給等へのアプリケーション...

メーカー・取り扱い企業： ブロンコスト・ジャパン株式会社

水圧制御に対応！比例電磁弁Type2871最大1.0[MPa]

アクアドライブシステム等での水圧コントロールにも対応可能で最大閉め切り…

は、高いレンジアビリティ・精度・ヒステリシス・リニアリティを有しております。例えば必要流量の異なる２つの装置に対し、同じ型式の比例電磁弁が搭載可能となるという実績も多数ございます。また現在マスフローコントローラをご使用中の箇所に対し、比例電磁弁と流量センサを個別に使用することにより、大幅なコストダウンが可能となります。さらに調節計を搭載した比例電磁弁用コントローラType8611を使用すると、容...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社

Type2873比例電磁弁（ソレノイドバルブ）液体でも使用可

任意の流量・圧力調整が可能な、高精度比例制御電磁弁[液体でも使用可能]

は、高いレンジアビリティ・精度・ヒステリシス・リニアリティを有しております。例えば必要流量の異なる２つの装置に対し、同じ型式の比例電磁弁が搭載可能となるという実績も多数ございます。また現在マスフローコントローラをご使用中の箇所に対し、比例電磁弁と流量センサを個別に使用することにより、大幅なコストダウンが可能となります。さらに調節計を搭載した比例電磁弁用コントローラType8611を使用すると、容...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社

Type6223比例電磁弁(ソレノイドバルブ）-液体専用-

任意の流量・圧力調整が可能な、高精度比例制御電磁弁[液体でも使用可能]

は、高いレンジアビリティ・精度・ヒステリシス・リニアリティを有しております。例えば必要流量の異なる２つの装置に対し、同じ型式の比例電磁弁が搭載可能となるという実績も多数ございます。また現在マスフローコントローラをご使用中の箇所に対し、比例電磁弁と流量センサを個別に使用することにより、大幅なコストダウンが可能となります。さらに調節計を搭載した比例電磁弁用コントローラType8611を使用すると、容...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社

Type6024比例電磁弁（液体でも使用可) ソレノイドバルブ

任意の流量・圧力調整が可能な、高精度比例制御電磁弁[液体でも使用可能]

は、高いレンジアビリティ・精度・ヒステリシス・リニアリティを有しております。例えば必要流量の異なる２つの装置に対し、同じ型式の比例電磁弁が搭載可能となるという実績も多数ございます。また現在マスフローコントローラをご使用中の箇所に対し、比例電磁弁と流量センサを個別に使用することにより、大幅なコストダウンが可能となります。さらに調節計を搭載した比例電磁弁用コントローラType8611を使用すると、容...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社

Type2871比例電磁弁（ソレノイドバルブ）液体でも使用可

任意の流量・圧力調整が可能な、高精度比例制御電磁弁[液体でも使用可能]

は、高いレンジアビリティ・精度・ヒステリシス・リニアリティを有しております。例えば必要流量の異なる２つの装置に対し、同じ型式の比例電磁弁が搭載可能となるという実績も多数ございます。また現在マスフローコントローラをご使用中の箇所に対し、比例電磁弁と流量センサを個別に使用することにより、大幅なコストダウンが可能となります。さらに調節計を搭載した比例電磁弁用コントローラType8611を使用すると、容...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社

Type2836比例電磁弁（ソレノイドバルブ）

任意の流量・圧力調整が可能な、高精度比例制御電磁弁[液体でも使用可能]

は、高いレンジアビリティ・精度・ヒステリシス・リニアリティを有しております。例えば必要流量の異なる２つの装置に対し、同じ型式の比例電磁弁が搭載可能となるという実績も多数ございます。また現在マスフローコントローラをご使用中の箇所に対し、比例電磁弁と流量センサを個別に使用することにより、大幅なコストダウンが可能となります。さらに調節計を搭載した比例電磁弁用コントローラType8611を使用すると、容...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社

ALICAT マスフローコントローラーMCS（腐食性／冷媒対応）

混合ガスにも対応！アナログ出力、RS-232C通信・バックライト付き液…

『MCS/MCRSシリーズ』は、腐食性ガス／冷媒ガスを含め1台で128種類のガス流量の計測が可能なALICAT(アリキャット)社製のマスフローコントローラーです。 ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 この他に、極めて小さな差圧で計測可能な「MWシリーズ」...

メーカー・取り扱い企業： 日本スターテクノ株式会社

流量設定器『MODEL CK SERIES』

設定精度は0.1％フルスケール！抵抗値10kΩ（標準）の流量設定器をご…

『MODEL CK SERIES』は、マスフローコントローラ用流量設定器です。 入力は5VDC、出力は5Vをフルスケールとして分割。設定精度は 0.1％フルスケールとなっております。 ご用命の際は、当社までお気軽にご相談ください。 ...

メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡

【資料】小型・高密度コネクタソリューション

今後の更なる半導体製造装置の進化に対して小型高密度製品で「お客様のダウ…

■ セラミックヒータ ■ 電子ビーム描画装置 ■ 真空チャンバー　 ■ 測長SEM他検査測定装置 耐高温/耐熱性 ■ セラミックヒータ ■ ドライエッチング装置 ■ マスフローコントローラ ■ モールド装置 ■ 露光装置光源 小型同軸 ■ 電子ビーム描画装置 ■ 測長SEM　他　検査測定装置 ■ PZT駆動装置 ■ 各種センサ 詳しくはお問い合わ...

メーカー・取り扱い企業： レモジャパン株式会社

MODEL HFC-303 SERIES

N2換算でF.S.1000SLMまでの大流量に対応！マスフローコントロ…

当社で取り扱う、大流量用マスフローコントローラ『MODEL HFC-303 SERIES』 をご紹介します。 N2換算でF.S.1000SLMまでの大流量に対応。対象流体はN2、Air、H2、He、 Ar、O2、CO2等（気...

メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡