超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRV30/30SHシリーズ』

接ガス部のネジ構造を排除！非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実…

『S-TORRV30/30SHシリーズ』は、一次室の流路にフィルターを内蔵し、 内部リーク発生を低減している超高純度ガス用圧力調整器です。 本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールにはメタルシール 構造を採用。高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心して お使いいただけます。 一次低圧用の標準機種として低圧配管やアウトレットパネル、充填圧の低い 圧縮ガスのシ...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

中圧火口『スパッタ付着低減ダイバーゼント火口』

特殊材料の採用によりさらにメンテナンスが向上。5k・7kダイバーゼント…

『スパッタ付着低減ダイバーゼント火口』は、 内部火口に特許取得済みの特殊材料を採用した中圧火口シリーズです。 切断作業時のスパッタ付着を大幅に低減。 メンテナンス性や寿命が向上したことで 火口の交換頻度が減り、省力化にも寄与します。 従来品である標準三段当たり火口に加え、 5kダイバージェント火口、7kダイバーゼント火口を 新製品としてラインアップしました。 【特長】 ...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRV50/50SHシリーズ』

一次室の流路にフィルターを内蔵！特に純度の高いガスでも安心してお使いい…

『S-TORRV50/50SHシリーズ』は、半導体プロセスガスラインで絶大な信頼を 頂いているTORR調整器をベースに開発した超高純度ガス用圧力調整器です。 腐食性ガス用として接ガス主要金属部に高耐食性のNi-Cr-Mo合金を使用した 「SHシリーズ」をご用意。Heリークテストを含め、出荷検査を全数に 実施しています。 一次低圧用の中流量機種として「STV30」よりも流量が求めら...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

ジボラン専用圧力調整器『S-TORRV1900シリーズ』

接ガス部のネジ構造を排除！パーティクル低減を実現したジボラン専用圧力調…

『S-TORRV1900シリーズ』は、内部リークを抑えるため、デカボランの 生成しづらい好適な中間圧に設計されたジボラン専用圧力調整器です。 本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールにはメタルシール 構造を採用。高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心して お使いいただけます。 S-TORR調整器は、半導体プロセスガスラインで絶大な信頼を頂いている TORR...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRV2300SH/AH』

TORR調整器をベースに開発！Heリークテストを含め、出荷検査を全数に…

『S-TORRV2300SH/2300AHシリーズ』は、腐食性ガス用の圧力調整器です。 「STV2300SHシリーズ」は、要部部品と呼ばれる腐食性ガスの影響が 特に大きい部品に、「STV2300AHシリーズ」は、調整器本体の接ガス金属部 すべてに耐食性の高いNi-Cr-Mo合金を採用。 接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施すことにより、 非常に高い水分置換特性、パーティ...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

一般工業ガス用圧力調整器『ウイングH200/ウイングL200』

大流量用調整器の定番！大型本体を使用、大流量を安定供給できます

『ウイングH200/ウイングL200』は、配管・管接続タイプの 一般工業ガス用圧力調整器です。 圧力変動が小さいコンペンセーション式構造で、入口圧力が 変動しても設定した出口圧力に大きな変化はありません。 集合装置用をはじめとする各種ガス供給設備・装置に幅広く ご使用いただけます。 【特長】 ■集合装置用をはじめとする各種ガス供給設備・装置に幅広く使用可能 ■圧力変動が...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRV1300シリーズ』

接ガス部のネジ構造を排除！出荷検査を全数に実施した超高純度ガス用圧力調…

『S-TORRV1300シリーズ』は、一次高圧用の標準機種としてシリンダー キャビネットなどの一次減圧設備に広くご使用いただいている 超高純度ガス用圧力調整器です。 本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールにはメタルシール 構造を採用。高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心して お使いいただけます。 一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減し...

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一般工業ガス用圧力調整器『オーロラ3』

圧力変動が少なく、集合装置・各種ガス供給設備・装置に適しています！

『オーロラ3』は、配管・管接続タイプの一般工業ガス用圧力調整器です。 圧力変動が小さいコンペンセーション式構造で、入口圧力が変動しても設定した 出口圧力に大きな変化はなく、集合装置・各種ガス供給設備・装置に好適。 作動性の良い大型の排出弁を装備しておりますので、安全にご使用いただけます。 【特長】 ■ウイングL-200では流量能力が不足している場合に使用 ■集合装置用をはじ...

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超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRVT50シリーズ』

出荷検査を全数に実施！タイドダイヤフラム式の超高純度ガス用圧力調整器の…

『S-TORRVT50シリーズ』は、タイドダイヤフラム式を採用し、液化ガスの 供給に強い構造となっている超高純度ガス用圧力調整器です。 接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施すことにより、 非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現。接ガス部から スプリングを排除し、パーティクル発生リスクを低減しました。 加温供給を行うことで、蒸気圧が1.0MPa以上になるガスについ...

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超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRV2300シリーズ』

一次側高圧用中流量機種！一次減圧設備に広くご使用いただいております

『S-TORRV2300シリーズ』は、半導体プロセスガスラインで絶大な信頼を 頂いているTORR調整器をベースに開発した超高純度ガス用圧力調整器です。 接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施すことにより、 非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現。Heリークテストを含め、 出荷検査を全数に実施しています。 腐食性ガス用として高耐食性のNi-Cr-Mo合金を使用した「...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRV02シリーズ』

小型のアウトレットパネルを設計可能！装置への組み込みにも好適な圧力調整…

『S-TORRV02シリーズ』は、本体径φ35、標準面間70.5mmという 非常に小型の圧力調整器です。 接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施すことにより、 非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現。Heリークテストを含め、 出荷検査を全数に実施しています。 腐食性ガス用として接ガス主要金属部に高耐食性のNi-Cr-Mo合金を使用した 「SHシリーズ」をご用意し...

メーカー・取り扱い企業： 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部

超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRVA10シリーズ』

負圧制御、低蒸気圧用機種！一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク…

『S-TORRVA10シリーズ』は、負圧制御に対応し、低蒸気圧の液化ガスを 負圧供給するシリンダーキャビネットで使用可能な圧力調整器です。 接ガス部からスプリングを排除し、パーティクル発生リスクを低減。 タイドダイヤフラム式を採用しております。 腐食性ガス用として接ガス主要金属部に高耐食性のNi-Cr-Mo合金を使用した 「SHシリーズ」をご用意しています。 【特長】 ■...

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