1nmフィードバックステージコントローラ　FC-911

1nm分解能で位置決めステージを制御！

ィードバックステージを1nm分解能で制御することができます。 ステージ内のリニアエンコーダの値をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行います。 コマンドにより通信制御ができ、容易に位置決めシステムを構築することができます。...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

スリム型100nm分解能ステージ（50mm）

エンコーダ内蔵！高分解能位置決めステージ

自社開発した光学式リニアスケールエンコーダを内蔵しているため コントローラで制御することで100nnまたは50nm分解能で 動作します。 進行方向に対してスリムなモデルの特注例です。 スリムなメリット ・省スペースで長いストローク ・定盤のスペース確保 ・検査装置の小型化...型式：FS-1050X(S) ストローク：50 mm 専用コントローラ使用時 分解能：100 nm...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

サブミクロンフィードバックステージ FS-1050X/XY

【精密位置決め装置】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持…

光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 50nm 』又は『 100nm 』分解能(*1)でストロークは『 50mm 』となっております。 自社開発リニアエンコーダと自社独自のフィードバック制御回路により...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社