【導入事例】GaN製造装置のガスノズルの設計最適化

計算時間を大幅に短縮！プロセスインフォマティクス導入事例をご紹介！

「GaN(ガリウムナイトライド)」とは、5G基地局の電源としても採用が 期待されている、パワー半導体です。薄切りの円盤のウエハとして使われるのが 一般的ですが、最初に製造する状態は円柱形です。 GaNの円柱は、下から空いた穴からGaNの原料となるガスを噴出し、結晶を 成長させます。実際...

メーカー・取り扱い企業： アイクリスタル株式会社

【プロセスインフォマティクス導入事例】GaNの結晶加工最適化

後工程を省略できるほどの加工精度と、目標以上！AIと人間の協働の価値を…

パワー半導体GaNでは、ナノメートル（1mmの100万分の1）単位のごく微小な粗さも 性能を左右するため、従来では円柱を作った後の結晶加工は必須でした。 適切な実験条件を見つけるためには、まずは傾向を...

メーカー・取り扱い企業： アイクリスタル株式会社