低温高周波励起DLC 成膜装置　CVC series

DLC(Diamond-like carbon）コーティング

高周波と直流負パルスを同時印加 ・高周波プラズマは反応容器外から供給 ・直流電圧はアークに直結 コンパクトでシンプルデザイン ・加熱源をもたない ・ワークの設置方向に制限なし グラファイトからDLC まで膜質を連続制御 ・高周波パワ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クリエイティブコーティングス

低温バレル型ALD成膜装置　CVA-B series

低温ALD装置とバレル機構の融合

コバルト系、鉄ネオジム系、フェライト等）への保護膜形成 　　・保磁力、分散性の向上 　　・参加劣化防止 　　・帯電防止 　全個体電池（結晶、ガラス、ガラスセラミックス） 　　・硫黄と水分の反応性での有毒ガス発生の課題解決 　　・低いイオン伝導率の課題解決 　固体酸化物型燃料電池（SOFC) 　　・高密度イオン伝導体の薄膜化 　　・多孔質ステンレス採用による低コスト化 　　・YS...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クリエイティブコーティングス