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様々なプロセス用途にご利用頂けるバッチ式アッシング装置です!
・処理ガス1:02/2,000sccm ・ドライエア、パージガス(N2) ・ポンプ排気:7,000L/min ■ウエハ搬送方法 ・垂直動作カセットエレベーター ・水平・旋回動作吸着方式ロボット ・ウエハはみ出し、取り残し検知機能付き ■機能 ・10インチTFTカラータッチパネル ・シーケンサー ・シグナルタワー(3灯タイプ) ■オプション ・プロセスチ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社リバティー
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