- 製品・サービス
1件 - メーカー・取り扱い企業
企業
51件 - カタログ
1331件
絞り込み条件
製品分類
メーカー・取扱い企業
-
-
-
様々なプロセス用途にご利用頂けるバッチ式アッシング装置です!
・処理ガス1:02/2,000sccm ・ドライエア、パージガス(N2) ・ポンプ排気:7,000L/min ■ウエハ搬送方法 ・垂直動作カセットエレベーター ・水平・旋回動作吸着方式ロボット ・ウエハはみ出し、取り残し検知機能付き ■機能 ・10インチTFTカラータッチパネル ・シーケンサー ・シグナルタワー(3灯タイプ) ■オプション ・プロセスチ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社リバティー
-
- 表示件数
- 30件
- < 前へ
- 1
- 次へ >
※このキーワードに関連する製品情報が登録
された場合にメールでお知らせします。