自動Xステージ『SXAシリーズ』

低価格とサブミクロンの送り精度を両立した位置決めステージ。高耐荷重で活…

神津精機の自動X・XYステージ『SXAシリーズ』は先駆的な製造分野で高いコストパフォーマンスを実現いたします。 【こんなことでお困りではありませんか？】 ■生産ラインでたくさん使うので、出来るだけコストを抑えたい ■クライアントの希望納期が流動的だから、出来るだけ短期間で調達したい ■高い剛性と高い精度、ストロークが長い自動Xステージが欲しい ■クリーンルームで使いたい 【特長...

メーカー・取り扱い企業： 神津精機株式会社

半導体製造装置・検査装置に好適なアライメントステージ

0.1μmの追従性を実現する『RSTアライナー』と薄型・小型の省スペー…

【RSTアライナー】 ■最大の特徴である駆動ユニットのバランスの取れた正三角形配置がアライメントに必須の超高精度な微少駆動を可能に ■リニアスケール等のフィードバックを掛けずに0.1μm±20nmの高い追従性を実現 ■ベアリングを使用していない為、大口径の透過穴が実現可能 ■ウエハサイズやワークサイズに合わせ、テーブルサイズも自在 ■貼り合わせ用途などで必要とされるZ機構追加可能 ■高...

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【Ｚステージ特集】半導体製造・検査装置に適した高精度Ｚステージ

お客様のニーズに応える多種多様な機構・サイズ・ストロークをラインアップ…

半導体製造装置等様々な生産現場で活躍する神津精機の精密位置決めステージの中からＺステージを特集。 直立型Ｚステージや３タイプの水平面Ｚステージをご紹介。 それぞれにテーブルサイズと型式、他にもＺステージの選定に必要なストローク、全高、耐荷重を記載。また、実力値の例も記載しております。 カスタム事例も掲載しております。 選定の一助になる資料となっております。 Ｚステージの実...

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超精密位置決めステージ『モンブランシリーズ』

300種類を超える多彩なラインアップ！様々な組み合わせが可能です

『モンブランシリーズ』は、当社の長年にわたるカスタムオーダーメイドの 経験を凝縮して生まれた汎用精密位置決めステージです。 高精度・高剛性・高耐久性を備えております。 ご要望の際は、お気軽にご相談ください。 【ラインアップ】 ■手動XYステージ ■ゴシックアークステージ ■手動Zステージ ■自動Xステージ ■自動スイベルステージ ■手動スイベルステージ ■精密ポジショ...

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半導体製造工程で使用する高精度位置決めステージ使用例

位置決めステージ選定でお悩みの方へ。どの工程でどんな位置決めステージが…

当資料は、半導体製造工程ごとに使用実績を掲載しています。 インゴットの位置決め用高荷重ゴニオメーター「ワイヤーソー」をはじめ、 完成までの前工程/後工程で使われる位置決めステージをご紹介。 他にも、半導体ウエハのみならず様々な試料の厚さや表面形状等を 測定する装置などにも活用できます。 【掲載製品（一部）】 ■ワイヤーソー ■ウエハボンディング装置 ■プリント基板用露光...

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