ウェハ表面欠陥検査装置（画像式）

透明素材にも対応する高精度検査装置

微分干渉顕微鏡を搭載した表面欠陥検査装置で 透明体材料にも適用しております。 全面検査による欠陥マップ出力や検出した欠陥の 顕微鏡観察が可能な装置です。 ■装置の特長 ・独自の画像処理技術による欠陥抽出・弁別機能 ・欠陥を観察しながら...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クボタ計装

ディスクチッピング検査装置　DSiS-2015

ガラス基板、メディア表面、エッジ部のチッピング、汚れ等を、高速・高精度…

ＣＣＤカメラで取り込んだ画像解析により、ガラス基板、メディアの表面、エッジ部のチッピング、汚れ等を、高速・高精度に検出する量産ライン検査装置です。 合否判定に基づいたディスクの自動振り分け、検査結果は上位システムに通信し管理することが可能。 ・スループット　～800PPH（検査条件による） ・フットプリント 　　本体： 　　...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クボタ計装

ウェハ外観検査装置（画像式）

ウェハの欠陥目視検査を自動化を実現

■以下のご要望・お困りごとにお応えする装置です！ ・ウェハ（基板）の欠陥目視検査を自動化したい。 ・検査員ごとの合否判定ばらつき低減、防止したい。 ・検査データの保存、品質のトレースを行いたい。 ・自動で欠陥弁別したい。 ■装置の特長 ・目視可能な欠陥を自動で検出、抽出、弁別できます。 ・欠陥種類に合わせて最適化した光学系の提案が可能です。 ・手動機/自動搬送(カセットtoカセット）とも提案可能...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クボタ計装

レビュー機能付きウェハ表面欠陥検査装置

レビュー用顕微鏡搭載！検出した欠陥を顕微鏡でリアルタイムに観察可能です

高出力レーザーを回転ステージ上のウェハに照射することで、 高速に全面を検査し、微小欠陥を検出します。 散乱、反射、位相シフトなど複数チャンネルの組合せによって 用途に適した欠陥検出ができ、凹凸など欠陥種ごとに弁別します。 ■装置の特長 ・高速検査（約181秒/12inch） ・レビュー用顕微鏡を搭載 ・顕微鏡はレーザー顕微鏡/微分干渉顕微鏡のどちらか選択可能 ・SEM等での分析用に顕微鏡を利用し...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クボタ計装

ウェハ表面欠陥検査装置（レーザー式）

高出力レーザーで微小欠陥を検出！

高出力レーザーを回転ステージ上のウェハに照射することで、 高速に全面を検査し、微小欠陥を検出します。 散乱、反射、位相シフトなど複数チャンネルの組合せによって 用途に適した欠陥検出ができ、凹凸など欠陥種ごとに弁別します。 ■装置の特長 ・高速検査（約９１秒/6inch） ・PSL 50nm(オプション追加で40nm)相当の微小欠陥検出 ・欠陥の凹凸を弁別 ・SEM等での分析用にケガキ可能 ・レー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クボタ計装

ウェーハ表面欠陥検査装置『Laser Explorer』

透明ウェーハも高速検査！高出力レーザーが微小な傷・パーティクルを検出！

『Laser Explorer』は、透明ウェーハにも対応した、 最新型のウェーハ表面欠陥検査装置です。 高出力レーザーが、スクラッチ・ピット・パーティクルなどの微小欠陥を検出！ ウェーハの出荷・受入検査や、エピタキシャル工程の品質管理に活用いただけます！ 【その他の特長】 ■...

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ハードディスク表面欠陥検査装置　Laser Explorer

ハードディスク表面のスクラッチ、ピットなどの微細な表面欠陥を検出

ハードディスク表面に高出力レーザーを照射することで、スクラッチ、ピットなどの微細な表面欠陥を検出し、欠陥種類ごとに分類、結果表示します。 複数レーザーの同時照射によりスクラッチを高感度で検出するだけでなく、欠陥の凹凸形状を判定します。 特長 ・高出力レーザーによる微小欠陥の検出 ・高いスクラッチ検出能力 ・欠陥の凹凸を弁別 ・全数オートフォーカス ・優れたコストパフォーマンス ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クボタ計装

青果物品質評価装置【フルーツセレクター】

青果物を傷つけずに糖度測定が可能なフルーツセレクター！

フルーツセレクターは、近赤外分光分析技術により、青果物の糖度（酸度・内部障害度）を非破壊で測定します。 K-SS900LC（デスクトップ型） ・同時に質量計測も実施、選別結果（等級）を音声でお知らせするので仕分け便利です。 K-BA800（モバイル型） ・バッテリ（オプション）で果樹園やハウスでの収穫前測定も可能なので、収穫時期の判定にも。 当製品は、農業試験場などにも採用実績が...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クボタ計装