ドライ真空ポンプ『SDLシリーズ』

ハードプロセス向け！ウェハー・FPD基板の大型に対応する大排気量ポンプ

『SDLシリーズ』は、半導体や液晶の製造分野などの幅広い分野で 高い信頼を得ている樫山工業のドライ真空ポンプです。 ウエハー、FPDの大型化に対応します。 組合せにより大排気量化が可能で、15万L/min以上のご要望にもお応え。 さらに、大気側排気速度の確保による、大型ロードロックチャン...

メーカー・取り扱い企業： 樫山工業株式会社

ドライ真空ポンプ『MU-X シリーズ』

世界最小クラスのサイズと電力を同時に実現！あらゆる製造装置に組み込みが…

『MU-X シリーズ』は、同クラスで、世界最省クラスの省エネとフットプリントを 両立したルーツ型ドライ真空ポンプです。 あらゆる製造装置に組込みが可能です。 ロードロック及び搬送室等のクリーン排気プロセス用途に最適です。 【仕様】 ■消費電力0.35kW ■A3以下の230×450mm ...

メーカー・取り扱い企業： 樫山工業株式会社

ドライ真空ポンプ『SDE-TXシリーズ』

あらゆるプロセスに対応する高耐久ドライ真空ポンプ！プロセス性能に特化

『SDE-TXシリーズ』は、半導体や液晶の製造分野などの幅広い分野で 高い信頼を得ている樫山工業のドライ真空ポンプです。 耐デポ性能に優れた縦型スクリューを採用し、構造材料や温度設定による 高い耐食性を発揮します。 【ハーシュプロセス対応例】 ■Metal-Etch ■SA-CVD ■M...

メーカー・取り扱い企業： 樫山工業株式会社

ドライ真空ポンプ『SDE-Xシリーズ』

あらゆるプロセスに対応する高耐久ドライ真空ポンプ！省エネに対応

『SDE-Xシリーズ』は、半導体や液晶の製造分野などの幅広い分野で 高い信頼を得ている樫山工業のドライ真空ポンプです。 消費電力1.3kW、多彩な設定で幅広いプロセスに対応。 SDEの耐プロセス性を継承した省エネモデルです。 【ラインアップ】 ■SDE90X ■SDE303X ■SDE...

メーカー・取り扱い企業： 樫山工業株式会社

ドライ真空ポンプ『MU-P/Hシリーズ』

省エネ「だけじゃない」！世界最小クラスのサイズと電力を同時に実現

『MU-P/Hシリーズ』は、省エネでありながら、プロセス耐性に優れた ルーツ型ドライ真空ポンプです。 軽負荷から中負荷までのあらゆる製造装置に組み込みが可能です。 「MU-Hシリーズ」は、更なる耐プロセス性向上のため、HOT-N2パージの 搭載も可能です。 【特長】 ...

メーカー・取り扱い企業： 樫山工業株式会社