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メカニカルブースターポンプ
まゆ形ロータを回転する事により圧縮・排気を行う真空ポンプ 【特徴】 ○油回転真空ポンプなどの前段に取り付け排気速度を増大させる 機械式真空ポンプ、ということからメカニカルブースターとも呼ばれる ○ドライ真空ポンプ、油回転真空ポンプ、液封式...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社大阪真空機器製作所
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同クラスの中でもトップクラスの省エネルギー・小型・軽量を実現!
省エネ型ドライ真空ポンプ ER100D/ER100DCは、同クラスドライ真空ポンプの中でもトップクラスの省エネルギー、小型・軽量化を実現しました。省エネルギー対応で、到達圧力時消費電力400W。小型・軽量を実現し、設置...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社大阪真空機器製作所
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半導体向け真空ポンプ ※SEMICON Japan2019に出展
ターボ分子ポンプやドライ真空ポンプなど電子部品や半導体製造に必要なポン…
IoT社会を実現するためには様々な電子部品・半導体等が必要であり、これらを製作するために適切な真空環境が不可欠です。その真空環境を作り上げるのに必要な真空ポンプにもIoT対応が出来るよう、当社は考えています。 今回は半導体向け真空ポンプを中心に、当社の豊富なラインナップから製品をご紹介いたします。 【製品】 ■コントローラ・電源一体型/磁気軸...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社大阪真空機器製作所
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冷却水不要なのでコンパクトな自由設計!20000時間以上の長寿命!
コンパクトドライ真空ポンプは小型、軽量、外乱に強いポータブルタイプの真空ポンプです。運搬に便利なコンパクト設計でスペースを取らないため自由な設置が可能です。軸受寿命は20000時間以上の長寿命です。SEM、医療機器、分析...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社大阪真空機器製作所
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大気圧で連続運転が可能!乾燥、ロードロック室・搬送室排気に最適!
空冷式ドライ真空ポンプは空冷仕様で大気圧により連続運転が可能です。水蒸気吸入が可能なほか、到達付近まで一定の排気速度を維持します。ロードロック室・搬送室排気、高真空ポンプの補助ポンプ、分析・測定機器の排気、加速器の排...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社大阪真空機器製作所
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真空システム
をもとに、 充実した技術力と実績を持ってユーザーのニーズに合わせた ベストな真空システムを提供していきます。 【各種真空システム】 ○ターボ分子ポンプを使った真空システム ○ドライ真空ポンプを使った真空システム ○油回転真空ポンプを使った真空システム ○液封式真空ポンプを使った真空システム ○ルーツ真空ポンプを使った真空システム ○エジェクタを使った真空システム ●詳...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社大阪真空機器製作所
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全機種二段式ガスバラストが標準搭載!配管工事不要で手間が省ける直結型油…
『VSVシリーズ』は、1段式の回転翼型(ベーン型)油回転真空ポンプです。 シンプルで堅牢な設計で、大気から真空への繰り返し排気に好適。 揺動ピストン形(キニータイプ)、カム形(センコタイプ)と比べて、 軽量・コンパクト・低振動構造です。 また、...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社大阪真空機器製作所
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ケーシングとその内部にある羽根車から構成!液封式真空ポンプの納入事例を…
高機能フィルムの製造プラントにおいて有機溶剤を回収する真空蒸留工程に 「封液循環型(閉サイクル)液封式真空ポンプ」を納入した事例をご紹介いたします。 有機溶剤の温度を上げると変質の恐れがありますが、真空蒸留では、減圧することで 温度を上げずに有機溶剤を蒸発させ、回収することが可能になります。 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社大阪真空機器製作所
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取り扱いが容易な液封式真空ポンプや故障しにくいエジェクタなどをラインア…
当カタログでは、低真空や超高真空までの幅広い真空製品を掲載しています。 ベルト駆動型油回転真空ポンプ「Pシリーズ」をはじめ、磁気軸受形複合分子 ポンプ「TG-Mシリーズ」やコンパクトドライ真空ポンプ「DSPシリーズ」など 多数製品を用途別に分けてご紹介。 製品の選定にぜひご活用くださ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社大阪真空機器製作所
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エジェクタは、気体(水蒸気等)や、液体(水等)を駆動源とする真空ポンプ…
マルチジェットコンデンサは、凝縮も兼ね備えた水エジェクタです。 【製品の特長】 ○排気ポンプとコンデンサの両方の役目を兼ねているので、凝縮性気体の排気に、水エジェクタよりもさらに効果的です。 ○吸入側に逆止弁がついているので、大気脚が不要で停電や断水時の逆流が防止できます ○水エジェクタの特長も全て備えています ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社大阪真空機器製作所
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エジェクタは、気体(水蒸気等)や、液体(水等)を駆動源とする真空ポンプ…
水エジェクタは、水を駆動源とし、気体を吸引・排気するエジェクタです。駆動水の蒸気圧程度の吸入口圧力が得られ、凝縮性・腐食性ガス、ダストを含む気体の排気に有効です。また、多段蒸気エジェクタシステムの最終段としても利用できます。...【製品の特長】 ○駆動に水を使用しているので、凝縮性ガスや腐食性ガスの排気、ダストを含む気体の排気に有効です ○駆動水の飽和蒸気圧程度の吸入口圧力が得られます ○標...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社大阪真空機器製作所
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分析装置・計測システムへの搭載に対応!装置の小型化が可能な高性能ターボ…
分析機器向けの小型ターボ分子ポンプです。 補助ポンプに小型ダイアフラムポンプが使用できるため、装置を小型化でき、また完全姿勢自在であるため装置レイアウトの自由度も広がります。 小型・軽量・高性能が必要とされる分析・計測装置に適したポンプです。...分析機器向けの小型ターボ分子ポンプです。補助ポンプに小型ダイアフラムポンプが使用できるため、装置を小型化でき、また完全姿勢自在であるため装置レイアウ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社大阪真空機器製作所
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エジェクタは、気体(水蒸気等)や、液体(水等)を駆動源とする真空ポンプ…
【製品の特長】 ○吸入比が極めて大きくとれます。 ○吸入比=吸入蒸気量/駆動蒸気量 ○故障がほとんどない簡単な構造 構造上は蒸気エジェクタとまったく同じです。また、大吸入量のものが安価で製作できます。 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。...【製品の特長】 ○吸入比が極めて大きくとれます ○吸入比=吸入蒸気量/駆動蒸気量 ○故障がほ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社大阪真空機器製作所
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