【事例】シリコンウエハーの超超鏡面研磨加工にファインバブルを使用

要求される鏡面を簡単にクリアー！ファインバブルを使用して解決した事例

シリコンウエハーの超超鏡面研磨加工にファインバブルを使用した事例を ご紹介します。 数種類の対策をしたが要求される超超鏡面ができず、研削液配管途中に OKノズルを設置。ファインバブルを使用して解決しました。 また、ファインバブルの破裂の衝撃によって砥石の切り刃が常に確保され、 研削キリコが洗浄され必要面粗度が得られました。 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社OKエンジニアリング

ループ流式マイクロバブル発生装置ノズル200ｍL/min※特注可

少ない水圧0.22MPaでも白濁するナノバブルの発生効率が高い装置（ノ…

果】 ○水圧0.22MPaにて白濁 　・水槽全体を白くそるにはOK。装置（ノズル）を­水槽の中心真上から噴射させる必要がある 【用途例】 ○排水処理、汚水処理 ○海、川、湖の浄化 ○配管パイプ等の洗浄 詳細は下記動画をご確認ください。 http://www.youtube.com/watch?v=G377JLLZ3r4&feature=c4-overview&list=UU...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社OKエンジニアリング

特注■ループ流式マイクロバブル発生ノズル　80、100L/min

少ない水圧でも白濁。200～300L/minの排出量でもコンパクトに製…

○水圧0.08MPaにて白濁 　・排出量が多いからだと考えられる 　・この時の発生ノズル攪拌部の真空度は-0.046MPa 【用途例】 ○排水処理、汚水処理 ○海、川、湖の浄化 ○配管パイプ等の洗浄 詳細は下記動画をご確認ください。 http://www.youtube.com/user/01oke01?feature=mhum#p/u...

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