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顕微鏡オート移動など、生産性、使い勝手に優れたアライナ
2インチウエハ対応のマニュアル露光装置です。 オペレータがマニュアルでウエハをセットする露光装置です。4インチのガラスマスクを使用し、フォトマスクとウエハのアライメントマークを顕微鏡で撮像、モニタに写しだされた画像を見ながらの位置合わせと、露光ギャップ設定を行うことで、露光が可能です。 なお、露光スイッチを押すと自動で顕微鏡が退避、ランプハウスが所定の位置に移動し、設定光量...
メーカー・取り扱い企業: ウシオライティング株式会社
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190WPHの高スループットを実現したマスクアライナ
ました。 特に、新開発のアライメント画像処理には、任意座標指定のサーチおよび、インテリジェントθサーチとの複合サーチを行うオートアライメントを採用しました。また、安定した視認性を実現するために、顕微鏡のハロゲン照明は画像処理により、照度減衰もフィードバックする新機構も搭載しています。 オペレータはフォトマスクとウエハをセットし、あらかじめ記憶されている露光レシピを選択するだけで、ウエハ搬送か...
メーカー・取り扱い企業: ウシオライティング株式会社
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