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49件 - メーカー・取り扱い企業
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39件 - カタログ
320件
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幅2100mmまでの紙・フィルムなどを紙管に2軸巻取りまたは巻き替えす…
巻取り速度と巻取り張力はボリウムで個別に調整ができます。 巻取り方向は正転でも逆転でもスイッチにて切り替えることができます。 超音波センサーにて巻取り巻径を検出して、巻径が変化しても張力が一定になるようにテンションコントロールします。 バックテンションを掛けることにより、巻出し装置(巻出しブレーキ)としても使用可能です。 1軸を巻出し、もう1軸を巻取りにすれば巻き替え装置としてもご使用いた...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社ユタカ製作所
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可搬重量2kgの4軸スカラ 人協働ロボット『DSR02-400』
《通称:ももこちゃん》コントローラー内蔵で簡単設置、省スペースを実現!…
人協働ロボット『DSR02-400(ももこちゃん)』のコンセプトは安全、簡単、ローコストです。《設定感覚》で使用出来るので、初めて使用される方でも安心してご使用頂けます。 【ももこちゃんの特徴】 ■安全性 本体に鋭利な部分 や ネジ部 が無いので安心です。サーボモータで 速度 と トルク は常に監視をしていますが、もしアームに接触しても内蔵されたセンサにより、急制動・急停止、退避動作を...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社三機 Creative Lab
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ユニバーサルロボット専用(第7軸 )UR走行軸 MovoTrak
ユニバーサルロボット専用 第7軸 (走行軸)最大移動距離10m ! …
Thomson社は協働ロボットメーカーであるユニバーサルロボットとの初のコラボレーションMovoTrak 7軸(走行軸)を発売しました。 画期的なプログラミングと制御の利点をもたらす7軸(走行軸)は、2つの衝突検出機能で安全を担保します。 1.パドルストップ 2.衝突検知で安全停止 ロボット機能に迅速かつ簡単に実装できるプラグアンドプレイシステムであるMovoTrakは最大10mの...
メーカー・取り扱い企業: ミワ株式会社
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過酸化水素蒸気滅菌に対応する6軸ロボット リーチ範囲2010mm, …
『TX2-140/160 ステリクリーン』は、医薬品製造工程に適した独自設計の 無菌環境対応ロボットです。 密閉型6軸アームのため、内部配線が可能。医薬用生産設備の要求に適合するシーリングカバーで、優れた耐薬品性、防水性を持ちます。 高い生産性を維持し、クリーンルームエリアや無菌アイソレーター、 RABSを用いた様々な業界の梱包用途にも対応します。 【特長】 ■35%の過酸...
メーカー・取り扱い企業: ストーブリ株式会社
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高精度コンタクト圧制御!簡易的な光ナノインプリント実験も可能
マイクロコンタクトプリンター『PA400S』は、次世代のデバイス製作手法 として注目を集めるmCP(micro contact printing)法や簡易的な 光ナノインプリント(UV-NIL)法に対応する マイクロコンタクトプリント装置です。 mCP法は急速に展開してきた有機エレクトロニクス分野や バイオ用マイクロ構造体などを、PDMSスタンプによるチオールインク転写 によって製...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ナノテック
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どこでも、いますぐ、かんたんに。みんなと一緒に働くロボット。
【かたちもうごきも、安全に。】 鋭利な部分をつくらず、ユニークなアーム構造に加え、指を挟み込まないよう可動範囲も配慮。さらに、速度とトルクを監視する6つのセンサも内蔵し、機能的にも安全です。 【手の足りない場所に、今すぐに。】 コントローラを内蔵しながらも、気軽に持ち運べる約4kg。COBOTTAは、小型・軽量なため、使いたいとき、使いたい場所で、すぐに作業を始められます。 【覚え...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社デンソーウェーブ
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「小型精密」「多機能低コスト」 転写プロセスを誰もが手軽に!各種モー…
『CI-100』は、卓上型のバッジ式高機能低真空UVインプリント装置です。 材料評価 ・金型評価 ・相性評価 ・硬化条件 ・残膜条件等の基本的な 転写プロセスを誰もが手軽に検証可能。 機械加工された精密金型、ウエハモールドなど各種金型に対応。 多くのモード選択や設定の調整が出来ます。 1)自動モード:隙間量制御(Z軸) or 圧力制御(ロードセル) ・隙間量制御 基材...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェルテック
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同方向2軸押出機のパイオニアから始まり、ターンキープロジェクトまで
コペリオン株式会社(本社:ドイツ)は、同方向2軸押出機を世界で初めてリリース後、 65年を超える実績から得たノウハウ、経験から、2軸押出機機器単体機器をはじめ、 様々なソリューションおよびサービスを提供しております。 2軸押出機に限らず...
メーカー・取り扱い企業: コペリオン株式会社 本社
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ディスペンサー塗布装置 ジェットディスペンサー「AeroJet」
半自動/全自動塗布装置対応 ・圧倒的実績 ・高速・高精度飛滴。生産…
・ジェットディスペンサーは、武蔵エンジニアリング(株)の製品の一つです。 ・非接触JETで “狙い撃ち” ・高速処理で生産タクトUP ・液剤を無駄なくコスト削減 ・シンクロスピード機能搭載 ・圧倒的な納入実績 ・シリンジからタンクまで液剤供給の選択が可能 ・高精度に液体制御を行うディスペンスコントローラをフルラインナップ。 ・様々なアプリケーションへ対応いたします。 ・充実の海外...
メーカー・取り扱い企業: ディスペンサーの武蔵エンジニアリング株式会社 国内:11拠点 海外:11拠点
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耐食性スプリング内臓のテフロン(PTFE)回転シール VSF
ホライト(Hallitr)『回転シール VSF』は、耐食性の金属スプリングを内臓した回転用テフロン(PTFE)シールです。 シールのフランジをハウジングで挟み込むことでハウジングにしっかりと固定できます。軸との供回りを防ぎ、システム圧による軸への抱き着きを緩和して低トルク化が図れます。 また、シールがハウジングに固定しているため往復運動において、高Hzでストロークする用途にも最適です。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エム・オー・テック 本社
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ロボットアームシステムDOBOT Magician/M1/CR5
低価格で高精度の汎用ロボットアームシステム。3Dプリンターもレーザー彫…
無料の実機デモ体験会実施中! オンライン体験会も受け付けております! DOBOT Magicianはオールインワンの低価格ロボットアームです。 3Dプリンターやレーザー彫刻も使える豊富な作業アタッチメントがセットとなっており、あとはPCを用意するだけですぐにロボットアームの制御がプログラミングできます。 標準の制御ソフトDobotStudioにより、コードを記述することなくハンドティー...
メーカー・取り扱い企業: TechShare株式会社
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生産工場で使える安全協働型ロボット より拡がる自動化の可能性!
作業者を検知して自動で減速・停止するスマートな協働型ロボットです。工場…
TX2シリーズ産業用協働タイプ6軸ロボットは、ストーブリロボットの特長である精度、スピード、剛性はそのままに、安全機能を備えた新しいロボットです。保護柵のないセルで、人とロボットによる作業エリアの共有が可能になります。 新型のTX2シリーズ産業用協働ロボットは、安全規格を取得しており、安全機能の基準であるPLeおよびSIL3に適合するため、センサ等と組合わせることで安全なロボットシステムの構...
メーカー・取り扱い企業: ストーブリ株式会社
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Zettlex電磁誘導式中空リング形状アブソリュートエンコーダ
レゾルバ同様劣悪環境対応、22ビット高分解能・高精度が可能なアブソリュ…
Zettlex概要・特長 ・大径シャフト軸等の最終メカ回転部に容易に直接取付可能な薄型中空リング形状の電磁誘導式アブソリュートエンコーダ。ギヤ・減速機類を介さずシステムレベルでの精度向上に貢献 ・Φ5~Φ526mmのシャフトに直接取付可能 ・最高22ビット分解能(420万分割/回転)、出力形式はSSI、BiSS等のシリアル出力他 ・ステータ・ロータの2枚のリング形状基板で構成され薄型軽量、...
メーカー・取り扱い企業: ノヴァンタ・ジャパン株式会社 セレラモーション事業部
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作業場所を選ばない小型でパワフルな3Dプリンター!
FLASHFORGE社より登場した6.0インチ2Kモノクロディスプレイ搭載のLCD-SLA方式の3Dプリンター『Foto 6.0 』。このコンパクトさとリーズナブルなプライスで発売開始と同時に入手困難状態になった大人気商品がついに歯科専用医療機器モデルとして登場! ■特長 ◇6.0インチ 2KモノクロLCD ◇コンパクトな本体サイズで馴染みやすい ◇造形サイズ 130 x 82 x 1...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社マシンツール中央
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化粧品・医薬部外品OEMのトータルサポートならおまかせください!
化粧品・医薬部外品のOEM開発から受託製造まで、 柔軟・迅速・確実な…
インターナショナル・トイレツリースは、化粧品や医薬部外品のOEM製造を軸に事業を展開している会社です。 コスト・品質を重視し、創業からおよそ半世紀の 豊富なノウハウを基に、市場競争力のある製品をご提案いたします。 【当社の強み】 1. 生産設備 原液製造、充填包装、セット箱まで一貫生産ができます。 年間1億2,000万個の生産実績を有しており、 少量多品種から大量生産までお客様の...
メーカー・取り扱い企業: インターナショナル・トイレツリース株式会社
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多関節ロボット、スカラロボット、パラレルリンクロボット、エアシリンダに…
お客様で内製されていませんか? 岩田製作所の真空パッドブラケットは規格品のため、設計が不要です。 また、ロボットに直接取付ができ手間がかかりません。 主要真空パッドのネジサイズ【M5】に合わせた設計で、 標準品以外の特注品も1個から対応可能です。 ...【多関節ロボット・エアシリンダ用】 *フラットシリーズ(SUS304製) ・2穴、・4穴タイプ 板厚:t2.0 *ライトシリ...
メーカー・取り扱い企業: 大喜産業株式会社
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ボールねじ搬送のたわみ・速度制限・大口径化・モータ大型化の悩みを解決!…
当社のラックアンドピニオン直動システムは、“高精度・高速・高搬送力・高耐久・長尺”を兼ね備えます。搬送重量がトンクラスでも高速・高精度に搬送可能。ラックはマシンベッドに直接設置の為、ボールねじで発生する”たわみ”の心配は不要です。 バックラッシ最小1arcminの遊星歯車減速機と、累積ピッチ誤差最小30μm/1000mmのラックにより、非常に高精度な位置決めが可能。ラックは最長2mですが、並...
メーカー・取り扱い企業: ストーバー・ジャパン株式会社
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【新製品】高速でロングリーチ!不二越 小型ロボットMZ07LF
●タクトタイムを従来機より最大43%短縮、生産性を向上します。 スリム…
●高速 ~生産性の向上~ 世界トップクラスの各軸最高速度はそのままに 加速・減速性能の向上によりタクトタイムを従来機より最大43%短縮 ●高精度 ~高度な作業への対応、タクトタイムの削減~ 位置繰り返し精度が向上し、更に高度な作業への対応が可能となり、 軌跡精度の向上によりタクトタイムを削減 位置繰り返し精度:ずれ量を従来機比約3/4に低減 軌跡精度:ずれ量を従来機比約1/3に低...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社京二 本社、名阪営業所、南関東営業所、千葉営業所、北関東営業所、東北営業所、京二上海
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過酸化水素ガスによる厳しい要求の滅菌・除染工程用途に設計された高性能6…
RX160ステリクリーンは過酸化水素ガス(H2O2)による厳しい要求の滅菌・除染工程用途に設計されたロボットです。 研究開発やバッチテスト、製薬製造工程など多岐にわたる分野でのグレードA環境での動作に適しています。 【特徴】 ○過酸化水素ガス(H2O2)に完全対応 ○VHP環境での除染プロセスに最適なロボットアーム ○アイソレーター(グローブボックス)内での人の腕による操作を自動化 ...
メーカー・取り扱い企業: ストーブリ株式会社
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医療・医薬・化粧品メーカーに最適!竜巻の原理で超乾燥エアーを供給する装…
コンプレッサーエアー用「マルチドライフィルター」は、同心軸上に3つのエレメントを持ち、油分・水分の分離から乾燥、0.01μm以上の固形粒子を除去し段階を経て圧縮空気を超クリーンなエアーにします。 圧縮空気が通過する際、竜巻と同じ真空状態が起こり、外圧と内圧の差により水滴が気化され、最高で湿度約15%(0.7MPa時)の乾燥エアーを作り出します。 その優れた機能からドライフィルターと呼ばれます。...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社シンアイ産業
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より輝きたい!自分らしくありたい!その想いをカタチにする安心・安全・高…
当社では、化粧品OEMの豊富な実績とノウハウを活かし、製品の企画、 開発、生産、納品まで、トータルサポートさせていただきます。 数多くの国内協力工場を持ち、お客様の様々なニーズに柔軟に対応可能な 生産体制を整えています。 また、スキンケア化粧品・医薬部外品からメイクアップ化粧品、ヘアケア・ ボディケア、サプリメントなど美と健康にかかわる製品のOEM生産に対応します。 ご要望の際...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エマグラン
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【導入事例 医薬】手術室のロボット顕微鏡RoboticScope
世界初のRoboticScopeに、ストーブリロボットが採用!
手術時に使われる顕微鏡をロボットを使って制御する事例をご紹介します。先進的なセンサー・制御技術とストーブリロボットを組合せた革新的なシステムです。 【ロボットの導入で解決した課題】 ◎従来の顕微鏡よりも広範囲の手術部位を観察できる ◎手術中の外科医が無理のない姿勢を保つことができる ※導入事例は下記「ダウンロード」からすぐにご覧いただけます。 ...【TX2-60Lの特徴】 ...
メーカー・取り扱い企業: ストーブリ株式会社
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全21コース組合せ自由!内容に合わせた教習装置で操作を体験できます
当社では、デンソーロボットを使いこなすためのロボットスクールを行っております。 コースの組合せや受講場所の選択が自由でお客様に合わせたカリキュラムが可能。 コース内容毎にご用意した教習装置を実際に操作頂き、学習頂けます。 当社本社(愛知県)での実施のほか、お客様ご指定の場所での開催も可能です。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■お客様に合わせたカリキ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社デンソーウェーブ
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特殊ステンレス「シリコロイ」の総合カタログです。
ひとつの鋼で複数の特性を兼ね備えるオールラウンド型ステンレス「シリコロイ」がわかる総合カタログ。ダイジェスト版、技術カタログ、プロフェッショナル用など複数のカタログを取り揃えています。...シリコロイは⾼ケイ素を含有する析出硬化系ステンレスで、⾼硬度、⾼耐⾷性を軸に耐熱性、耐摩耗性、耐焼き付き性など複数の特性を兼ね備える新素材です。 各種主要部品の⻑寿命化によるメンテナンスフリー・トータルコスト...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社シリコロイラボ
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【製造事例が分かる資料4種進呈】ポンプシャフトや軸受けをはじめとする構…
当社では、独自製法で高品質・低価格を実現した「丸棒形状セラミックス部品」の製造を承っております。 医療機用ポンプシャフトや薄肉パイプなど、多種多様な構造材を得意としています。 また、進呈資料では、各種製品と材質や特長を掲載しながら「セラミックス部品コストダウンのポイント」をご紹介しております! シャフト形状、スピンドル形状、ポンプ軸、ピストン(プランジャー)、シリンダー、軸受け、スリーブ、等々、...
メーカー・取り扱い企業: ニイミ産業株式会社
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フェイスパック市場の革命となる、新たな画期的製品の誕生に貢献!是非パー…
ジェムインターナショナルは、貴社独自のパック構想を、新たな売り上げを 創造する製品開発を実現させます。 「ジェムジェリー」は、そのハンドリングや素材そのものでの差別化を 図れるのみではなく、さらにデザイン的な魅力を出すことも可能。 カラーパックは、薬液そのものが持つ色素なども、1つの訴求力として使えます。 当社は、これまでの研究成果を軸として、貴社の新たな市場開拓を実現する 新...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェムインターナショナル
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ストーブリTXシリーズの性能はそのままに安全機能を追加して人とロボット…
TX2-60 6軸ロボットは、ストーブリロボットの特長である精度、スピード、剛性はそのままに、安全機能を備えた新しいロボットです。 この協調タイプロボットは、センサ類と組合わせることで人とロボットによる作業エリアの共有が可能です。 【特徴】TX2-60産業用協働ロボットは、安全規格を取得し、PLeおよびSIL3クラスの安全に関する仕様をもっているため、柵の要らない安全なロボットシステム...
メーカー・取り扱い企業: ストーブリ株式会社
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ストーブリTXシリーズの性能はそのままに安全機能を追加して人とロボット…
TX2-40 6軸ロボットは、ストーブリロボットの特長である精度、スピード、剛性はそのままに、安全機能を備えた新しいロボットです。 この協働タイプロボットは、センサ類と組合わせることで人とロボットによる作業エリアの共有が可能です。 TX2-40産業用協働ロボットは、安全規格を取得し、PLeおよびSIL3クラスの安全に関する仕様をもっているため、柵の要らない安全なロボットシステムの構築が可能...
メーカー・取り扱い企業: ストーブリ株式会社
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「Particle-PLUS」での解析事例紹介 Particle…
『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社
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【事例】「Particle-PLUS」2周波CCPのプラズマ解析
Particle-PLUS解析事例紹介「2周波CCPのプラズマ解析」シ…
CCP(容量結合プラズマ)装置のプラズマ解析に関する事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 電極が複数ある場合や重畳周波数を印加する場合に対しても 高速にシミュレーションを行うことができます ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社
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【事例】「Particle-PLUS」円筒型マグネトロンスパッタ
Particle-PLUS解析事例紹介「円筒型マグネトロン装置のプラズ…
長い円筒パイプの内側に強い膜を成膜する方法のひとつである円筒標的を用いたマグネトロンスパッタの解析事例です Particle-PLUSで利用可能な 1)軸対称モデル 2)鏡面対称境界条件を組み合わせることで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく高速に結果を得ることができます ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社
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【事例】「Particle-PLUS」RFマグネトロンスパッタ
Particle-PLUS解析事例紹介「RFマグネトロンスパッタ解析」…
プロセスプラズマを用いた成膜手法のひとつである、RFマグネトロンスパッタの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社
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事例:Particle-PLUS:GEC-CCP装置プラズマ解析
Particle-PLUS解析事例紹介「GEC-CCP装置のプラズマ解…
代表的なドライエッチング手法のひとつである、CCP(容量結合プラズマ)エッチングに関する3Dでの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速にエッチング率などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社
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【事例】Particle-PLUS:CCPによるクリーニング処理
Particle-PLUS解析事例紹介「CCPによるクリーニング処理」…
代表的なドライエッチング手法のひとつである、CCP(容量結合プラズマ)エッチングに関する解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速にエッチング率などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレー...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社
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生産工場で使える安全協働型ロボット より拡がる自動化の可能性!
作業者を検知して自動で減速・停止するスマートな協働型ロボットです。工場…
TX2シリーズ産業用協働タイプ6軸ロボットは、ストーブリロボットの特長である精度、スピード、剛性はそのままに、安全機能を備えた新しいロボットです。保護柵のないセルで、人とロボットによる作業エリアの共有が可能になります。 新型のTX2シリーズ産業用協働ロボットは、安全規格を取得しており、安全機能の基準であるPLeおよびSIL3に適合するため、センサ等と組合わせることで安全なロボットシステムの構...
メーカー・取り扱い企業: ストーブリ株式会社
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【事例】Particle-PLUS AC マグネトロンスパッタ
「Particle-PLUS」での解析事例紹介 「AC マグネトロン…
『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社
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【事例】Particle-PLUS:誘電体標的のRFマグネトロン
Particle-PLUS解析事例紹介「誘電体標的のRFマグネトロンス…
プロセスプラズマを用いた誘電体膜の成膜手法のひとつである、 RFマグネトロンスパッタの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社
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【事例】「Particle-PLUS」CCP装置の3次元解析
Particle-PLUS解析事例紹介 "容量結合プラズマ(CC…
『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社
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【事例】Particle-PLUS 対向ターゲット式スパッタ
「Particle-PLUS」での解析事例紹介 「対向ターゲット式ス…
『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社
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【事例】『Particle-PLUS』円筒型マグネトロン装置
長い円筒の内側に強い膜を成膜する方法のひとつである、円筒標的を用いたマ…
『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社
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【事例】「Particle-PLUS」対抗ターゲット式スパッタ
Particle-PLUS解析事例紹介 "対面ターゲットを用いた…
『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社
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【事例】Particle-PLUS 外部回路モデルを用いたCCP
Particle-PLUS解析事例紹介 外部回路としてπ 型マッ…
『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社
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【事例】Particle-PLUS DCマグネトロンスパッタ3D
「Particle-PLUS」は 真空チャンバ内のプラズマ解析を得意と…
『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社
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【事例】Particle-PLUS:3D対向ターゲット式パッタ
Particle-PLUS解析事例紹介「対向ターゲット式パッタ(3D解…
基盤に低ダメージな成膜手法のひとつである、対向ターゲット式スパッタの解析事例です。 3D計算は、2D計算と比較して計算コストは大きくなりますが、 より複雑な形状とそこからの影響を考慮してシミュレーションを行えます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社
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【事例】「Particle-PLUS」イオンビームの質量分析
Particle-PLUS解析事例紹介 "イオンビームの質量分析…
『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ウェーブフロント 本社