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PR多田製作所社製のオールステンレスタイプドラフトチャンバーのご紹介!
『オールステンレスタイプ DF-AS型』は、多田製作所社製のドラフトチャンバーです。 ドラフトチャンバーの外装、内装とも全てステンレス(SUS304)製です。 耐久性に優れ、有機溶剤を使用する実験に適しています。 給水およびガスの供給は、使用時の安全を考慮して、外部からの 遠隔操作式になっています。 防爆対応品の製作も可能です。 【特長】 ■外装、内装とも全てステンレ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社多田製作所
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ナノスケールの凹凸形状を三次元的に計測
■使用する探針 シリコン単結晶ウエハを加工して作られた鋭い探針で試料表面を走査します。先端径は10nm未満にまで加工されています。 ■タッピングモード タッピングモードは、探針を約300kHzの高周波で強制振動させ、試料表面を走査します。 走査の過程で、探針が試料表面に近づくと探針の振動振幅は減少し、逆に遠ざかると増加します。この変化を打ち消して、ある一定の振動振幅を保つように...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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XRR:X-ray Reflectivity
この測定で得られた反射X線強度プロファイルをシミュレーション結果と比較し、シミュレーションパラメータを最適化することによって、試料の膜厚・密度を決定する手法です。 ・膜厚の評価が可能 (2~300nm 程度) ・密度の評価が可能 ・表面粗さの評価が可能(Rms = 5nm 以下) ・非破壊で分析が可能 ・約10×20mm の広い範囲の平均情報を得ることが可能...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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高分解能(加速電圧30kV:4nm)でのSIM像観察が可能
方が極表面層の情報が得られる ・金属結晶粒観察が可能(Al, Cu等) ・分解能はSEM像より劣る(SIM:4nm, SEM:0.5nm) ■MST所有装置の特徴 ・試料サイズ最大直径300mmφのJEIDA規格ウエハ対応が可能 ・FIB(集束イオンビーム)加工との組み合わせで連続的な断面SIM像の取得が可能(Slice&View)...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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