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検査効率向上に!リニアエンコーダ内蔵で優れた再現性があるナノメートル分…
独自開発したリニアエンコーダを内蔵したステージとコントローラで構成される装置です。 ステージのエンコーダの読み取り値は逓倍処理後に1nm~100nmの分解能があります。 可動域は20mm~300mm(分解能によりラインナップが異なります。) コントローラはフィードバック回路とモータードライバを搭載しておりステージのフィードバック制御が行えます。 各種通信インターフェースを搭載しており、PC...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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