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    10nmフィードバックステージコントローラ　FC-511

    10nm分解能で位置決め制御！検査や研究の再現性向上に！

    最小指令単位：10nm インポジション範囲：±10nm（±30nm、±70nm 選択可） 最大動作速度設定：50mm/sec（接続ステージの性能に依存） 制御インターフェース：緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O ティーチング機能：200行×5チャンネル（1行1コマンド） 電源：AC100V～240V...

    メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

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