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HAADF-STEM：高角散乱環状暗視野走査透過顕微鏡法
■原理 HAADF-STEM( High-angle Annular Dark Field Scanning TEM)像は細く絞った電子線を試料に走査させながら当て、透過電子のうち高角に散乱したものを環状の検出器...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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SEM用アップグレードアクセサリー HAADF STEM検出器
高速TVレートイメージング！PC制御、USBインターフェースの検出器
HAADFアニュラーSTEM検出器は、原子スケールでナノ材料の局所的な化学に関する直接的情報を提供する非常に強力な手法です。 本検出器を取付けることによりSEMにHAADFアニュラーSTEM機能がアップグレードされ、HAADF特有のSTEMイメージを取得することができます。 HAADFイメージ取得の際、検出器はブラッグ反射の回折電子が収集されない十分な内角を有するアニュラー形状で作成されています。 ...
メーカー・取り扱い企業： エルミネット株式会社
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技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…
組織・構造変化の観測 まとめ 【図表】 図１～図９ LiCoO2のTPD-MS測定結果におけるCO2, CO, O2に関するMSカーブ in-situ 昇温TEM法によるLiCoO2のHAADF-STEM観察結果 in-situ昇温TEM法によるLiCoO2[100]入射の高分解能HAADF-STEM観察結果 室温（23℃）から650℃の各温度点におけるin-situ昇温TEM法に...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター
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技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…
２．断面TEM、平面STEMによる結晶構造解析 ３ イオン注入プロセス評価 ４．まとめ 【図表】 図１～図13 断面像、界面層の高分解能TEM像、電子回折パターン、原子分解能平面HAADF-STEM像・STEM像、結晶欠陥の原子分解能平面HAADF-STEM像 イオン注入後、アニール処理後分析結果、注入量、アニール処理温度の異なる試料のCL強度比較、キャリア濃度とdC/dV信号...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター
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技術情報誌 201902-01 DPC-STEMを用いたポリマー
技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…
(BR)からなるポリマーアロイであるABS樹脂のTEM像 図２ 一般的なポリウレタンのRuO4電子染色後のTEM像、硬質ポリウレタンのRuO4電子染色後のTEM像 図３ 無染色のABS樹脂のHAADF-STEM像およびN, Mg, CaのEDXマップ 図４ DPC-STEMの測定原理図 図５ 無染色ABS樹脂のHAADF-STEM像、DPC-STEMで測定した電場分布、および電場分布から...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター
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【分析事例】STEM,EBSDと像シミュレーションを併用した解析
像シミュレーションを併用した結晶形の評価
高分解能HAADF-STEM像は、結晶の原子配列を反映した画像であることから、種々の結晶方位に対応したSTEM像をシミュレーションすることにより、多結晶体中の結晶粒間の相対方位や観察像の正確な理解に役立ちます。 ...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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半導体、セラミックス、学術研究や開発、原子分解能での観察などに！
アズサイエンスおすすめ
まとめてレポート作成が行えるSMILE VIEW Lab 上記の分析業務のためのソフトが一つになりました。 〇JEM-ARM200F NEOARM 原子分解能分析電子顕微鏡 分解能：STEM HAADF 像 70 pm (200 kV)、100 pm (80 kV)、160 pm (30 kV) TEM 情報限界 100 pm (200 kV)、110 pm (80 kV)、250 p...
メーカー・取り扱い企業： アズサイエンス株式会社 松本本社
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JEM-ARM200F NEOARM 原子分解能分析電子顕微鏡
当社の新しいコンセプトカラーであるピュアホワイトとJEOLシルバーを採…
【仕様】 分解能※1 STEM HAADF 像：70pm(200kV)、100pm(80kV)、160pm(30kV) TEM 情報限界：100pm(200kV)、110pm(80kV)、250pm(30kV) 電子銃：冷陰極電界放出...
メーカー・取り扱い企業： アズサイエンス株式会社 松本本社
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活物質の粒径・結晶方位評価、原子レベル観察が可能
粒子の粒径や配向性を評価しました。更に、方位を確認した一次粒子について高分解能STEM観察を行 い、軽元素（Li,O）の原子位置をABF-STEM像で、遷移金属（Ni,Co,Mn）の原子位置をHAADF-STEM像で可視化した事例を紹介いたします。 測定法：SEM・EBSD・TEM 製品分野：二次電池 分析目的：形状評価、構造評価、製品調査 詳しくは資料をダウンロード、またはお...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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Csコレクタ付STEMにより結晶整合性および組成分布の評価が可能
sistor）」は、AlGaN/GaNヘテロ構造によって二次元電子ガス層が得られ、電子移動度が高くなります。 本資料では、市販のGaN HEMTデバイスを解体し評価した事例をご紹介します。 HAADF-STEMにより、AlGaN/GaN界面近傍の結晶整合性を確認しました。また、EELSにより組成分布の評価を行いました。 測定法：TEM・EELS 製品分野：パワーデバイス 分析目的：構造...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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InGaZnO4粒子の超高分解能STEM観察
Csコレクタ（球面収差補正機能）付きSTEM装置により、超高分解能観察（分解能0.10nm）が可能となりました。原子量に敏感なHAADF※-STEM像は多元系結晶構造を直接理解できる有効なツールです。今回、酸化物半導体中微粒子の評価を行いましたので紹介します。異種材料界面・化合物界面の原子配列、粒界偏析評価などに応用できます。 ...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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【分析事例】PL・TEMによるSiCパワーデバイスの結晶欠陥評価
PLマッピングで検出した結晶欠陥の高分解能TEM観察
PL（フォトルミネッセンス）マッピングでは、発光箇所から結晶欠陥位置の特定が可能です。 更に同一箇所を高分解能STEM観察（HAADF-STEM像）を行うことで積層欠陥を捉えることができます。 本事例では、市販のSiCパワーデバイスについてPLマッピングとSTEMを用いて調査を行いました。 PLマッピングにより積層欠陥位...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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高分解能EELSトモグラフィー
です。粒子など表面積・体積の算出も可能です。 Csコレクタ付きSTEMで0～180度のEELSマップ連続傾斜像を取得することにより、鮮明な3次元（3D)元素分布を構築することが可能となります。HAADF像の苦手とする平均原子番号の近い複合材料や回折コントラストの強い結晶質などへの適用が期待できます。...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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アズサイエンスおすすめの電子顕微鏡、偏光顕微鏡、質量分析計のご紹介
【仕様】 ◆NEOARM 原子分解能分析電子顕微鏡 分解能：STEM HAADF 像 70 pm (200 kV)、100 pm (80 kV)、160 pm (30 kV) TEM 情報限界 100 pm (200 kV)、110 pm (80 kV)、250 p...
メーカー・取り扱い企業： アズサイエンス株式会社 松本本社
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『TEMの基礎』『TEMの応用と事例』※希望者全員にプレゼント
高分子や半導体など、幅広い分野の研究開発に活躍するTEM（透過電子顕微…
）】 <TEMの基礎> ■TEM、STEMで何がわかるか ■TEM、STEMの特徴 ■試料作製方法 ■コントラストの要因 ■TEM、STEMの使い分け ■超高分解能HAADF観察 <TEMの応用と事例> ■分析事例 ・雰囲気制御＆冷却下でのTEM分析 ・SiCパワーMOSFETのコンタクト電極評価 ・微細トランジスタの構造評価 ※小冊子...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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【分析事例】チタン酸ストロンチウムSrTiO3の原子カラム観察
Csコレクタ付STEMによる高分解能STEM観察
ABF-STEM像（走査透過環状明視野像）により軽元素の原子位置を直接観察することができます。 HAADF-STEM像との同時取得で、より詳細な構造解析が可能となりました。 本事例では、チタン酸ストロンチウムSrTiO3の原子カラムを観察した事例をご紹介します。EDX元素分布分析を組み合わせること...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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【分析事例】固体高分子燃料電池 触媒材料の形態観察・成分分析
SEM・STEM・EDXによる触媒粒子の評価
察、組成分析にはSEMやTEM分析が用いられています。 初期状態での評価の他に通電後の劣化として合金組成の変調、Ruの溶出、触媒粒子径の増大が報告されていますが、これらの評価に高空間分解能でのHAADF観察やEDX分析が非常に有効です。また、SEM観察では担体のカーボンの形状や触媒粒子の存在状態を確認することができます。...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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【分析事例】STEM・EDXデータと像シミュレーションによる評価
STEM像と原子組成の測定結果から結晶構造の評価ができます
試料の測定によって得られた結果と、シミュレーションの併用により、結晶構造の評価が可能です。 本資料では、多結晶体であるネオジム磁石において、HAADF-STEMとEDXの測定によって得られた結果と、各々の測定条件を用いたシミュレーション像の比較から結晶構造の考察を行った事例を紹介します。測定結果と計算シミュレーション結果の併用により、結晶構造...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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超高分解能STEMによるZn(S, O, OH)/CIGS接合界面の結…
クタ付きSTEM装置を用いて接合界面を直接観察することで、原子レベルでの結晶構造評価が可能です。今回、CIGS薄膜太陽電池のバッファ層にZn（S,O,OH)を用いた系でバッファ層/CIGS界面のHAADF-STEM像観察を行い、構造を評価しましたので紹介いたします。 その結果、バッファ層にCdSを用いた試料に比べ、接合部の結晶構造が不鮮明で、エピタキシャル接合にはなっていないことが示唆されまし...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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超高分解能STEMによるCdS/CIGS接合界面高抵抗層の結晶構造評価
Csコレクタ付STEM装置を用いてCdS/CIGSヘテロ接合界面を直接観察しました。 TEM像・高分解能HAADF-STEM像および第一原理計算を用いたシミュレーションから、CIGSとCdSがヘテロエピタキシャル接合している様子が確認されました。...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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STEM・EDXによる触媒粒子の評価
細な構造のため形態観察、組成分析にはSEMやTEM分析が用いられています。初期状態での評価の他に通電後の劣化として合金組成の変調、Ruの溶出、触媒粒子径の増大が報告されていますが、これらの評価にHAADF観察や高分解能EDX分析が非常に有効です。また多視野の観察と分析により粒径および組成分布の評価が可能です。...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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