Sorvall X Proハイパフォーマンスユニバーサル遠心機　

PR【安全対策のポイントもご紹介】使うほどに遠心分離が楽しくなる、パワフル…

Thermo Scientific Sorvall X Proシリーズ ユニバーサル遠心機は、高度なアプリケーションに求められるパワフルな基本性能（大容量&高速性）に加え、「使いやすさ」と世界基準の「安全性」を兼ね備えています。 容量1.6 L 卓上型タイプのSorvall X1 Proと容量4.0 LのSorvall X4 Proシリーズをラインアップからお選びいただけます。 【特長】 ■ 最...

メーカー・取り扱い企業： サーモフィッシャーサイエンティフィック株式会社／Thermo Fisher Scientific K.K.

RF　スペクトラルメータ

RFインラインを乱すことなく、チャンバー内の様々な異常を検知し、歩留り…

アンテナをプラズマ処理装置ウィンドに取り付けるだけで装置内の異常が検知可能です。 ...・装置内のガスクリーニングの終わりを検知できます。 ・ウェハのハンドリングミスやガスリーク、圧力変化、電力変化も検知できます。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー

高周波計測器

RF計測器 / チャンバー内のRFを高精度に測定が可能

Octiv Suiteは、RFの以下のパラメータを測定可能です。 ・電圧 ・電流 ・フェーズ ・ハーモニクス ・インピーダンス ・イオンフラックス ・Waveform reconstruction ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー

アーク検知器

　１usの分解能でアークを検知し、歩留り向上に貢献いたします。　パルス…

・1usの高分解能で電流、電圧の振れ幅をモニタリングし、異常検知いたします。 ・RF電源、マッチングボックス間に容易にインストールすることが可能。 ・Ethernet Net(CAT)等で通信が可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー

プラズマクリーナ

試料にダメージを与えず、コンタミなしで真空チャンバーと試料をクリーニン…

■0.1mTorrの低圧でプラズマに点火致します。 ■プラズマの発光がモニタリングできます。 ■自動でRFインピーダンスをマッチング致します。 ■自動でガス流量を制御可能。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー