マイクロリニアアクチュエータ『MLA5C』

単4電池よりも小さい超小型のマイクロリニアアクチュエータ！

当製品は、真空（1×10-4 Pa程度）対応、低放出ガス仕様のマイクロリニア アクチュエータです。 ステッピングモータ駆動でパルスによる簡単な位置決めをしてくれ、サイズ もボールペンや単4電池よりも小さい超小型です。 また、当社では自社で放出ガス評価を行なっているため、高真空雰囲気中の 使用でもチャンバー内の他の機器への影響が少なく、的確な仕様の真空 アプリケーションを提供する...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所

真空非磁性対応 USM駆動ユニット　特注品

真空非磁性対応製品をお客様の要望に沿った仕様で製作します！

当製品は、駆動源に超音波モータ(USM)を採用し、真空非磁性環境に 対応しております。 当社では自社で放出ガス評価、磁場測定評価を行なっているため、 お客様の要望に沿った的確な仕様の真空非磁性アプリケーションを 提供することが可能です。 動作毎のユニットで組み合わせ自由の軸構成が可能なほか、 環境や精度グレードによるモデル分けでコストパフォーマンスに優れ た製品をお届けします...

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位置決めテーブル『PT100VST』

薄い！厚さ25mmの高真空対応位置決めテーブル

当製品は、高真空（1×10-5pa程度）対応の位置決めテーブルです。 ストローク200mmまでは最薄25mmで、狭く限られた場所でも使用 できます。 また当社では、自社で放出ガス評価を行なっているため、高真空雰囲気中の 使用でもチャンバー内の他の機器への影響が少なく、的確な仕様の真空 アプリケーションを提供することができます。 【特長】 ■真空対応ステッピングモータを採用...

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真空非磁性対応 超音波モータ『US36E』

お客様の要望に沿った的確な仕様の真空非磁性アプリケーションをご提供！

当製品は、真空（1×10-5 Pa程度）対応、非磁性（磁場変動量nT オーダー）対応の超音波モータです。 専用のコントローラで簡単に制御出来るほか、前方に直動ユニット を取り付けて「直動アクチュエータ」として使用する製品もあります。 当社では自社で放出ガス評価、磁場測定評価を行なっているため、 的確な仕様の真空・非磁性アプリケーションを提供することが できます。 【用途】...

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ハーメチック　フィードスルー ＜CC＞シリーズ

単極（同軸）には＜CC＞シリーズのハーメチック フィードスルー！

当製品は、単極（同軸）のフィードスルーに対応します。 一般的な導入端子【BNC型】、高電圧対応の【SHV型】、コンパクトな 【LEMO型】をご用意しております。 当社では自社で放出ガス評価を行なっているため、的確な仕様の真空アプリ ケーションを提供することができます。 【特長】 ■単極（同軸）のフィードスルーに対応 ■的確な仕様の真空アプリケーションを提供 ※詳しく...

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位置決めテーブル『VT125VST-XY』

高真空対応！互換性も高い位置決めテーブル

当製品は、真空対応の位置決めテーブルです。 当社では自社で放出ガス評価を行なっているため、お客様の要望に沿った 的確な仕様の真空アプリケーションを提供することができます。 また、VTシリーズは各メーカー市販のステージ（大気用）と同等サイズ バリエーションと互換性も高く、貴社既存の大気仕様装置を設計変更を することなく、低放出ガス仕様や真空対応化することも可能です。 【特長】...

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位置決めテーブル『MT12VST』

コンパクト＆高剛性！超小型ボディの位置決めテーブル

当製品は、高真空（1×10-5pa程度）対応の位置決めテーブルです。 手のひらに載るほどの超小型ボディでありながら、案内系にクロスローラ ガイド、伝達系に精密ボールねじ（予圧品）を採用し、高剛性を実現、安定 した動きを保証します。 またXY軸、XZ軸など多軸に組み合せ可能なブラケット等、オプションも ご用意しています。 【特長】 ■クリーン対応品も用意 ■コンパクト＆高...

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ハーメチック　フィードスルー ＜DC＞シリーズ

多極フィードスルーに対応するD-SUB型ハーメチック！

当製品は、多極フィードスルーに対応するD-SUB型ハーメチックです。 同じD-SUB型でも「Oリングタイプ」のものと、ご希望のフランジに溶接 可能な「溶接タイプ」をご用意しております。 当社では自社で放出ガス評価を行なっているため、的確な仕様の真空アプリ ケーションを提供することができます。 【特長】 ■多極フィードスルーに対応 ■的確な仕様の真空アプリケーションを提供 ...

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ハーメチック　フィードスルー ＜MC＞シリーズ

多極フィードスルーに対応するMS丸型ハーメチック！

当製品は、多極フィードスルーに対応するMS丸型ハーメチックです。 「Oリングタイプ」を標準としていますが、ご希望のフランジに溶接 する「溶接タイプ」も対応可能です。 当社では自社で放出ガス評価を行なっているため、的確な仕様の 真空アプリケーションを提供することができます。 【特長】 ■多極フィードスルーに対応 ■的確な仕様の真空アプリケーションを提供 ※詳しくはカタ...

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