協働ロボット パレタイジングシステム

PRカゴ台車への荷積みにも対応！お客様の用途に合わせ、多種多様にカスタマイ…

『協働ロボット パレタイジングシステム』は、省スペース・安全柵不要で運用可能な製品です。 ティーチングペンダント付属で操作も簡単。 また、パレット積みだけでなく、カゴ台車への荷積みにも対応しています。 その他、前後のコンベアー設置など現場環境に合わせご提案を致します。 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■８パターンのパレタイジング標準パッケージ ■省スペースに設置可能 ■...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社山善

超純水装置『Aquanex』

PRセルフサービスデザインによる利便性だけでなく、インテリジェントなユーザ…

超純水装置『Aquanex』のご紹介です。 【主な特長】 Aquanexシステムユーザーインターフェース ・大型のフルカラーディスプレイは水質やタンク残量を遠くからでもはっきりと確認できます ・採水データをUSBメモリからダウンロード可能 Aquanexタッチスマートディスペンサー ・扱いやすいピペットスタイルのディスペンサー ・ユーザーフレンドリーなタッチスクリーンで直感的に操作 ・スタンド...

メーカー・取り扱い企業： サーモフィッシャーサイエンティフィック株式会社／Thermo Fisher Scientific K.K.

不織布パッド『SUBA(TM)』

幅広い用途に使いやすい不織布パッド

『SUBA(TM)』はシリコンウェーハやガラス基板、サファイア基板から GaN・SiC基板まで様々な種類の基板に対応できる研磨パッドとして、 高い性能と安定性・信頼性を発揮する不織布パッドです。 様々な用途に対応できる幅広いラインアップで理想的な研磨仕上がりを達成します。 より平坦度を重視した硬質系、平面度を重視した軟質系等、様々なご要望に お応えいたします。 【特長】 ...

メーカー・取り扱い企業： アンカーテクノ株式会社

酸化膜工程向けCMPスラリー『ILD(TM)シリーズ』

酸化膜工程用ヒュームドシリカスラリー

『ILD(TM)シリーズ』は、ヒュームドシリカを用いた酸化膜CMPスラリーです。 一般的なコロイダルシリカスラリーでは実現困難な高研磨レートと スクラッチフリー・不純物低減を実現した業界標準のスラリーで、 ガラスエポキシ研磨にもご使用いただけます。 【概要】 ■低スクラッチ性能が求められる酸化膜工程研磨に好適 ■KOH/アンモニアベース ■圧倒的な不純物金属低減 ■高い機械...

メーカー・取り扱い企業： アンカーテクノ株式会社

各種基板向け研磨スラリー『Machplaner(TM)シリーズ』

ニッタ・デュポン株式会社が製造する高品質な国産スラリー

『Machplaner(TM)シリーズ』は、さまざまな基板に効果的な 万能スラリーです。 当社では、各種難研磨物への高研磨レート等、お客様のニーズを 満たすラインアップを取り揃えています。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【概要】 ■高品質な表面が要求されるガラス・サファイア基板をはじめ 　幅広い種類の基板研磨に対応 ■表面粗さ低減と高研磨レートの両立 ■...

メーカー・取り扱い企業： アンカーテクノ株式会社

シリコンウェーハ向け研磨スラリー『Nanopureシリーズ』

シリコンウェーハの1次・2次・仕上げ・エッジ研磨用のスラリー

『Nanopure(TM)シリーズ』は、ニッタ・デュポン株式会社が製造する 高品質なシリコンウェーハ用ポリッシングスラリーです。 高平坦性、低欠陥、高生産性などの優れた研磨性能を安定して発揮します。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【概要】 ■シリコンウェーハの1次・2次及びFinal研磨やエッジ研磨に好適 ■アルカリ性コロイダルシリカベーススラリー ■高研磨レー...

メーカー・取り扱い企業： アンカーテクノ株式会社

独立発泡ウレタンパッド

デバイスウェーハのCMPプロセスにおける業界標準品

当社では、デバイスCMPにおける業界標準のウレタンパッドを 取り扱っております。 特殊ポリウレタン材料をベースに、高均一な微小発泡を持つユニークな 構造はスラリーをうまく保持しながら、被加工物へ均等に行き渡らせ、 優れた加工均一性を発揮します。 また、高い段差緩和性能と低スクラッチ性能も実現します。 【ラインアップ】 ■各種基板の高平坦化に好適 　・IC1000(TM)...

メーカー・取り扱い企業： アンカーテクノ株式会社