IBAD(イオンアシスト蒸着法)装置　CVI series

真空蒸着よりも緻密で強度が高く、表面が平滑な成膜が可能！

蒸着法に加え、イオンビームを組み合わせた複合技術 　・低温で低エネルギー照射が可能 　・曲面や立体にも成膜が可能 【主な用途】 　・超硬工具用保護膜（c-BN） 　・食品用バリア膜（アルミ） 　・太陽電池用下地膜（アルミ） 　・光学用フィルタ膜（ZrO₂、AI₂O₃等） ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クリエイティブコーティングス

成膜受託サービス

液相・気相コーティングに関わらず多様な工法でお客様のニーズを全方位でカ…

■100nm以下 ・ALDによる受託成膜例 【成膜スペック】 　ワーク：ウェハ、金属（SUS、アルミ、銅など）、樹脂、フィルム他 　サイズ：一辺100mm程度あれば形状は問いません 【適応膜】 　SiO₂、Al₂O₃、TiO₂、HfO₂等 ■100nm～1μ程度 ・DLCによる受託...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クリエイティブコーティングス

クリエイティブコーティングス『気相技術』

ワーク材質や膜種、膜厚から、弊社がご提案する技術や加工例をご紹介！

【ALDによる受託成膜例】膜厚100nm以下 ■成膜スペック ワーク：ウェハ、金属（SUS、アルミ、銅など）、樹脂、フィルム他 サイズ：一辺100mm程度あれば形状は問いません ■適応膜 SiO₂、Al₂O₃、TiO₂、ZrO₂、HfO等 【DLCによる受託成膜例】膜厚100nm～...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クリエイティブコーティングス

低温ALD装置　CVA series

ALDでは難しいと言われている低温での高品質な成膜が可能！

【成膜スペック】 　有機物等へ成膜の場合 　ワーク種：ウェハ、金属（SUS、アルミ、銅など）、樹脂・フィルム他 　ワークサイズ：一辺100mm程度であれば形状を問いません 　磁性粉体や全個体電池、金属微粒子等粉体へ成膜の場合 　ワーク種：磁性粉体、全個体電池（硫化物系...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クリエイティブコーティングス