大気圧プラズマ式オゾン除菌装置　～除菌・脱臭効果あり～

高濃度のオゾン燻蒸除菌によりウイルスなどを不活性化 クリーンルーム前室…

濃度調整、風量調整付) ■空気を原料とするため、低ランニングコスト ■ユーティリティは100V電源のみ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 エア・ウォーター株式会社 産業カンパニー　プラントガスグループ　担当者 TEL：06-6252-1384 ...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター株式会社

溶断用燃料ガス発生装置「V-アクアガス」

トーチ40本の同時使用と切断面の綺麗さにより、生産の効率化・合理化を実…

溶断用燃料ガス発生装置「V-アクアガス」は、水素系燃料ガスである「アクアガス」を生成して鋼製材料を効率的に切断する、エア・ウォーターの独自開発装置です。切断トーチ40本以上の同時使用を可能とした大量発生タイプの装置で、切断面も格段に綺麗で後処理が少なくて済むため、従来の切断方法に対して、生産の効率化、合理化を図ることができま...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター株式会社

PSA式窒素ガス発生装置「BELLSWING S型」

従来機種比、半分の大きさを実現！エア・ウォーターのPSA式窒素ガス発生…

「BELLSWING S型」は、どこでも簡単に低価格な窒素ガスをお使いいただくため、小型・省スペースを追求した、従来比半分の大きさのPSA式窒素ガス発生装置です。自社開発の新型吸着剤により、従来の半分の空気で窒素ガスを発生可能です。 【特長】 ◆新型の吸着材により、従来の半分の空気量で窒素ガスを生成可能 ◆メンテナンスは正面方向からのみで作業可能 ◆工場のエアーを用いれば、空気源無しで...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター株式会社

24時間連続冷水供給システム　アイスウォーター

限りなく0℃に近い冷水を24時間連続供給！

くありません。 0℃ｎ水を作る技術で最もポピュラーな冷却システムは、氷畜熱式冷却システムですが、24時間稼動の工場では製氷運転時間が取れないため、24時間運転して0℃に近い低温冷水を作るアイスウォーターチラーシステムをこの度新たに開発しました。 【特長】 ・1日24時間、年間365日稼動し、限りなく0℃に近い低温冷水を供給します。 ・冷水の過冷却がありません。常に0.5〜1.0℃の低...

メーカー・取り扱い企業： KE・OSマシナリー株式会社

半導体ウエハーや液晶の洗浄装置への活用

半導体ウエハーの洗浄に！逆浸透膜により、不純物を90～99％分子レベル…

トップウォーターシステムズが取り扱う純水製造システム・装置は、 洗浄用途にもお使いいただけます。 精密洗浄や化学製品製造、飲料原料、理化学実験、メッキ塗装前の 表面洗浄、悪臭成分洗浄除去などに好適。 半導体ウ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トップウォーターシステムズ

H液の洗浄回数やpH値の安定などにも利用可能なRO水

H液を安定させるための洗浄の手間にお困りではありませんか？RO水を利用…

トップウォーターシステムズが取り扱う純水製造システム・装置は、 印刷機用途にもお使いいただけます。 例えば、H液を安定させるために、何度も洗浄を実施している方も多いかと思います。 RO水利用することで、洗浄回...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トップウォーターシステムズ

パイオクリンカートリッジ

パイオクリンカートリッジ

「パイオクリン」は各種の有害成分を化学的に吸着させ、排ガスから多種の有害物質を完全に 取り除きます。また、ドライタイプの除害剤のため、取扱いがきわめて簡単に行えるなど、 数々の優れた特長とメリットを備えています。 【特長】 ・水素化物系をはじめ、加水分解性の塩素系ガス/フッ素系ガスなどに対し、 　有害物質を化学的に吸着させ許容濃度以下に除害します。 ・カートリッジは、コンパクト...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社

元付けウォーターシステム『O3MAX System』

みんなが使う水道水を、高純度オゾン水で衛生的に。

『O3MAX System』は、水道水を瞬時にオゾン水に変える WOP技術を採用した元付けウォーターシステムです。 様々な店舗や施設の水道管に設置するだけで、全自動でオゾン水を生成。 蛇口から出る水だけで、野菜や調理器具、機具や美容器具などを 洗浄・除菌・消臭できるため、衛生管理に自...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リトルツリーズ 本社

常温吸着式精製装置

常温吸着式精製装置

精製装置のパイオニア・日本パイオニクスの世界最高のガス精製技術と長年培った 多彩な技術で開発した“VPシリーズガス精製装置”は、究極の純度と、 環境・安全に配慮した製品創りを追求し、「安心」と「信頼」を提供します。 【特長】 ・当社が開発した独自の触媒によりガスの高純度精製が可能です。 ・精製系列の切換は、原料ガスの流量および不純物濃度に適応した最適な 　系列切換時間を設定でき...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社

アンモニア分解除害装置

GaN製造プロセスの排ガス処理を目的とした除害装置です。

本装置は主にGaN製造プロセスの排ガス処理を目的とした除害装置です。 常温乾式除害と触媒分解式除害を効率よく組み合わせ、メンテナンス性向上、 ランニングコスト及び環境負荷の低減を可能に致しました。 【特長】 ・本装置はNH3を触媒分解により窒素と水素に分解、完全無害化します。 ・MOを含むGaN製造プロセス排ガス中の有毒ガスを効率的かつ安全に除害します。 ・酸化法によるNH...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社

パイオクリン緊急保安装置　MODEL-WGR

大気とともに吸引して有害成分を許容濃度以下に除害する保安装置です。

毒性ガスボンベからの万一の噴出や半導体製造設備等（配管、継手、バルブ等）から毒性ガスが漏洩した場合に、付近の大気とともに吸引して有害成分を許容濃度以下に除害する保安装置です。 【特長】 ・緊急保安用パイオクリンは、大風量のもとでも極めて優れた処理能力を有します。 ・毒性の高いガス等を短時間で許容濃度以下に除害します。 ・本装置は圧力損失が極めて小さくブロワー動力を低減出来ます。 ...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社

ガス精製装置『ゲッター式ガス精製装置Model-UHG・URT』

当社が開発した独自のゲッターによりガスの高純度精製が可能です！

『ゲッター式ガス精製装置Model-UHG・URT』は、当社が開発した独自の ゲッターによりガスの高純度精製が可能です。 常温吸着式では除去困難な窒素(N2)の除去が可能です。 反応筒(ゲッター)の積算精製ガス流量および積算精製時間を表示しますので、 反応筒の残有精製能力を確認できます。 水素ガス精製装置の「UHGシリーズ」と希ガス精製装置の「URTシリーズ」を ご用意しており...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社

吸着再生式排ガス処理装置

エッチングプロセス用の湿式除害装置です。

本装置は、エッチングプロセス用の湿式除害装置です。 Cl2、HBr、BCl3、HCl、HF、SiF4、etc対象ガスを、 従来の湿式除害では出来なかったTLV値以下まで除去することが可能です。 【特長】 ・吸着筒を水で再生するため、カートリッジは長寿命です。 ・水のみを使用するため、アルカリ汚染がありません。 ・水の使用量が少ないため、ランニングコストが低減できます。 ・気...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社

パイオファインカートリッジ（半導体用ガス精製器）

半導体用ガス精製器です。

独自に開発した触媒の使用により、各種半導体用ガスの精製に優れた性能を発揮します。 【特長】 ・精製筒、高性能フィルターおよびダイヤフラムバルブの一体構造によるコンパクト化を 　実現し、よりユースポイント近くでの精製が可能です。 ・高性能フィルターおよび出荷前のベーキング処理によりパーティクル/脱ガスについての 　万全の対策を施しています。 ・特別なユーティリティの必要はありませ...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社

雪状ドライアイス簡易発生装置『スノーホーン』

－79℃！雪状のドライアイスを効率よく簡単に造る装置です

『スノーホーン』は、サイホン管付炭酸ガスボンベ、もしくは 液化炭酸ガスLGCに接続するだけで簡単に雪状のドライアイスを 製造できるドライアイス簡易発生装置です。 バルブを開けるだけで、必要なときに必要な量のドライアイスを製造可能。 取扱いが簡単で、場所も取らず設備費が少なくすみます。 【使用例】 ■工場：冷やし嵌め等の急速冷却用途 ■食品：冷凍食品、アイスクリームの保冷 ■...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター炭酸株式会社