集積化ガス供給システム「IAGD5」

省スペース、メンテナンス性を向上させたプロセスガス供給システムです。 …

【集積ユニット】 プロセスガス供給ラインを標準化されたパーツでコンパクトに集積化。 プロセスガスと不活性ガスの高速置換を可能とする理想的な流路を実現。 設計から組立、検査後に納品し、お客様の工数を削減。 詳しくはカタログをDLいただくか、CKD内商品ページをご覧ください。...1.125inch、Wシール対応。...

メーカー・取り扱い企業： ＣＫＤ株式会社

システム【流量制御機器】FCS Thermal Series

熱式流量センサ制御方式を採用した、流量制御機器です。

び 　安定性の低いガスに最適構造を実現 ○高信頼性ダイヤフラムバルブで少ない接ガス面積・パーティクル発生の防止 　高速応答ピエゾアクチュエータを採用 　デットスペースフリー構造によるガス置換特性の大幅向上 　パーティクル発生 極少 ○デジタルインターフェース標準装備 RS485 ○RoHS対応 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フジキン(Fujikin Incorporated) 新本社