オート式露光装置

190WPHの高スループットを実現したマスクアライナ

登録された10個のリトライ座標を順番にサーチする､画像処理インテリジェントサーチ機能を採用しています｡ 5.ファースト露光用のラインアライメント機能を搭載しています｡ 6.露光方式は､ソフトコンタクト､プロキシミティ､ハードコンタクト(真空密着)から選択できます｡ 7.2インチウエハと4インチウエハの段取り換えも容易に行えます｡ 8.顕微鏡のハロゲン照明は､画像処理により､つねに最適な明...

メーカー・取り扱い企業： ウシオライティング株式会社

自動搬送露光装置

搬送系はローラコンベア方式でインラインとして利用可能！

ガラス基板などのフォトリソ工程において、ガラスマスクとワークをアライメントし、ソフトコンタクト露光で微細なマスクパターンを転写する露光機です。...

メーカー・取り扱い企業： ウシオライティング株式会社

両面マスクアライナー

両面アライメントと、プロキシミティおよびソフトコンタクト露光が可能

程において、ガラスマスクとワークをアライメントし、板上にコーティングされたフォトレジストに、微細なマスクパターンを転写するマスクアライナーです。 両面アライメントと、プロキシミティおよびソフトコンタクト露光が可能です。 ※詳細はカタログをダウンロードの上、お問合せ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ウシオライティング株式会社

マニュアル露光装置

顕微鏡オート移動など､生産性､使い勝手に優れたアライナ

主な特長 1.フォトマスクとウエハの平行出しは､ウエハテーブルを空気の層で浮遊させ､アライメント機構部に内蔵されたエアバネでフォトマスクに正確にコンタクトする方式を採用しています｡ 2.アライメント顕微鏡は､アライメントマークが探しやすいように自在移動が可能です(ロック機構付)。 3.アライメント顕微鏡はズーム式の高倍率タイプで､照明はレジス...

メーカー・取り扱い企業： ウシオライティング株式会社

工業･電子部品用露光装置

ガラスマスクとワークをアライメントし､微細なマスクパターンを転写する露…

【両面マスクアライナー】 ●ウェハー、ガラス基板などのフォトリソ工程において、ガラスマスクとワークを 　アライメントし、板上にコーティングされたフォトレジストにプロキシミティ 　及びソフトコンタクト露光にて、微細なマスクパターンを転写するマスクアライナー 　です。 ■□■詳細は、資料請求またはカタログをダウンロードして下さい■□■ ...

メーカー・取り扱い企業： ウシオライティング株式会社