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10nm分解能で位置決め制御!検査や研究の再現性向上に!
10nmフィードバックステージと組み合わせて10nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック(フルクローズドループ)制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測定システムの一部として使用できます。 ...型式:FC-511 接続対象ステージ:FS-10...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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【ロングストローク】エンコーダを内蔵した高分解能・高い位置再現性・高い…
00nm 』分解能(*1)でストロークは『 150mm 』となっております。 ストロークが長いため試料の移動と精密位置決めをこれ1台で行うことができます。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-411又はFC-111との組み合わせ...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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