低温バレル型ALD成膜装置　CVA-B series

低温ALD装置とバレル機構の融合

自社開発のバレル機構による均一撹拌とバラつきのない膜厚・膜質を実現 ・粉体材料や極小部品表面に均一に高品質な成膜が可能 ・平面ではないワーク形状や他の方法では成膜できなかった材料などにも技術応用可能 ...【コーティング活用例】 　磁性粉体（サマリウムコバルト系、鉄ネオジム系、フェライト等）への保護膜形成 　　・保磁力、分散性の向上 　　・参加劣化防止 　　・帯電防止 　全個体...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クリエイティブコーティングス

低温ALD装置　CVA series

ALDでは難しいと言われている低温での高品質な成膜が可能！

緻密で均質、かつ均一の厚みの膜が形成可能 　・ほとんどの金属酸化膜に対応可能 　・どのような基板（材質、平坦性、形状等々）でも密着性良く成膜可能 　・用途に応じた膜厚の制御が可能 　・室温で成膜可能 PETボトルコーティング活用例 　・アルコール飲料（軽量化・ロングライフ化） 　・医療・化粧品（容器の低コスト化、意匠性・透明性、酸アルカリ封入） 　・燃料（軽量小型燃料電池、フレ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クリエイティブコーティングス

低温高周波励起DLC 成膜装置　CVC series

DLC(Diamond-like carbon）コーティング

高周波と直流負パルスを同時印加 ・高周波プラズマは反応容器外から供給 ・直流電圧はアークに直結 コンパクトでシンプルデザイン ・加熱源をもたない ・ワークの設置方向に制限なし グラファイトからDLC まで膜質を連続制御 ・高周波パワーで反応制御 ・直流電圧値で密着性制御...【アプリケーション例】 ・機械的特性 　耐摩耗：切削工具、摺動部品 　低摩耗：真空部品、エンジ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クリエイティブコーティングス