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【プロセス分析計 技術資料】CMT工程の過酸化水素を全自動で測定
プロセス分析計 / オンライン分析計でCMT工程における過酸化水素の濃…
ケミカル・メカニカル・ポリシャ«CMP»は、シリコンウェハ表面を滑らかにしたり研磨したりするために使用される主要な技術の1つです。 一般的には、この工程では、脱イオン水、CMPスラリー(コロイド状シリコンやアルミナ液体分散体)、および過酸化水素(強酸化剤)を一定の濃度と比率で混合する工程です。 過酸化水素は経時的に劣化するため、CMP工程を効率よく繰り返し行うためには、その濃...
メーカー・取り扱い企業: メトロームジャパン株式会社
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世界で実際に導入されたプロセス分析計 / オンライン分析計の導入事例集…
世界5000台以上の実績があるオンライン分析装置の導入事例をまとめた冊子を無料プレゼント! ◆掲載事例◆ 事例1:サワーウォーター中の硫化水素とアンモニアの分析 事例2:金浸出スラリーおよび廃液中の遊離シアン化物、全シアン化物、WADシアン化物の分析(湿式精錬法) 事例3:“リッチ”アミンおよび“リーン”アミンの濃度と回収されたCO2量(CO2ローディング)の測定(炭素回収プ...
メーカー・取り扱い企業: メトロームジャパン株式会社
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世界初 LIB電極シートの合材層抵抗と界面抵抗を数値化
電極面の抵抗は均一だと考えている技術者はいないと思いますが、抵抗の不均衡が界面抵抗(接触抵抗)である可能性を考えたことはあるでしょうか。 材料やスラリーの状態などで変化するのは、素材自信と抵抗と同時に合材層接合面の接触抵抗も変化します。 簡単な操作で、コンピューターが逆問題解析を実行。今までは難しかった「合材層抵抗と界面抵抗を分離した数値化...
メーカー・取り扱い企業: 日置電機株式会社
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