【プロセス分析計 技術資料】CMT工程の過酸化水素を全自動で測定

プロセス分析計 / オンライン分析計でCMT工程における過酸化水素の濃…

ケミカル・メカニカル・ポリシャ«CMP»は、シリコンウェハ表面を滑らかにしたり研磨したりするために使用される主要な技術の1つです。 一般的には、この工程では、脱イオン水、CMPスラリー(コロイド状シリコンやアルミナ液体分散体)、および過酸化水素(強酸化剤)を一定の濃度と比率で混合する工程です。 過酸化水素は経時的に劣化するため、CMP工程を効率よく繰り返し行うためには、その濃...

メーカー・取り扱い企業： メトロームジャパン株式会社

プロセス分析計（滴定/水分/金属分析）【導入事例集】

世界で実際に導入されたプロセス分析計 / オンライン分析計の導入事例集…

世界5000台以上の実績があるオンライン分析装置の導入事例をまとめた冊子を無料プレゼント！ ◆掲載事例◆ 事例1：サワーウォーター中の硫化水素とアンモニアの分析 事例2：金浸出スラリーおよび廃液中の遊離シアン化物、全シアン化物、WADシアン化物の分析（湿式精錬法） 事例3：“リッチ”アミンおよび“リーン”アミンの濃度と回収されたCO2量（CO2ローディング）の測定（炭素回収プ...

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