アプリケーション例『 スラリーの供給』

研磨性スラリーのハンドリングに最適なバルブをご提案

スラリーのハンドリングは,主に3ステップに分けられます。 ・調整と混合 ・供給と輸送 ・除去と回収 GEMÜ製品は抵抗の少ないシート形状で,バルブと流体の双方に負荷をかけない設計となっています。 接液部の材質はすべてPTFEまたはPFAとし,十分な耐薬品性を備えるとともに,砥粒を含むスラリーの研磨性に対しても高い耐久性を持ちます。...

メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社

用途例『マイクロエレクトロニクスにおけるスラリーシステム』

CMPスラリーに最適なバルブのご提案

CMPスラリーのアプリケーションには極めて厳しい仕様要求があります。GEMÜのコンポーネントはその要求を満たしながら,流量を最大化する構造を持ち,研磨性スラリーを安全に運びます。 このアプリケーションには...

メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社

【スラリー/高純度薬液対応】 超音波流量計

計測管内の障害物が少なく、スラリーのような粘性流体にも高精度で対応可能…

C38型は液体用の非接触式超音波流量計です。 計測管内に可動部品や障害物がないため圧力損失がほとんどなく洗浄も容易です。 接液部はすべてPFA 製,電子回路部はポリプロピレンによって完全に覆われているため,耐食性に優れています。浸食性・腐食性流体や,高純度の液体に最適です。 •計測頻度が250回/秒のため,脈動する流体に最適 •分析機能を備えた豊富なPC ソフトウェア •計測値の誤差...

メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社

フローコントローラー

全ての薬液、高純度のアプリケーションの流体制御に最適な設計です

オールテフロン製です。 制御・モニター製品をはじめ各種半導体製造装置の標準部品として世界各国で 使用されています。 また、今まで流量のモニター、制御が難しかった発泡性薬液、 CMP用スラリーなどの薬液の制御に特化したコリオリ式のフローコントローラー も取り揃えております。 【特長】 ■超音波流量計では出せない発泡性薬液やスラリーの高精度制御 ■流体の粘度の変化に影響されず...

メーカー・取り扱い企業： ファーストゲート株式会社 本社、大阪オフィス、笹目倉庫

【新製品】電磁流量計マグフロー　タイプMF

幅広い用途に対応できる電磁流量計を新たにラインナップ！

【製品特長】 （１）幅広い用途での流量計測 →水、スラリー、薬液など様々な導電性液体の流量を計測できます。 　流量変化に対する応答性が高く、正逆両方向の測定が可能です。 　また、広いレンジアビリティと高い計測精度を有します。 （２）測定管の構造...

メーカー・取り扱い企業： 日東精工株式会社

DFX デジタル超音波ドップラー流量計

気泡が混入した液体やスラリー液などの測定に適した定置式ドップラー流量計

計です。 ・6ｍｍ小口径から大口径まで測定できます。 ・低流量も高性能で安定して測定できます。 ・リニアライザー内蔵で、より高性能になりました。 測定流体：気泡が混入した液、油、排水、スラリー液、工業用水、海水 測定液条件：35ミクロン以上反射粒子（気泡）が100ppm以上含む液体 ...

メーカー・取り扱い企業： サニー・トレーディング株式会社 営業本部

Badger Meter 差圧式流量計

校正精度が±1%以上で、且つ大きい絞り比を要する差圧測定のできるプロセ…

校正精度: 測定値の±0.25% ● 圧力損失: DPの6% ● 客先仕様も製作 3　COINウエッジ流量計 ● 粘度が3000cPまでの液体; (レイノルズ数が300以下) ● 磨耗性スラリー、粘性又はドライな流体、暦性質、コールタール等に対応 ● 配管径 1/2"～48"(6～1219mm) ● 客先仕様も製作...

メーカー・取り扱い企業： サニー・トレーディング株式会社 営業本部