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  • アプリケーション例『 スラリーの供給』 製品画像

    アプリケーション例『 スラリーの供給』

    研磨性スラリーのハンドリングに最適なバルブをご提案

    スラリーのハンドリングは,主に3ステップに分けられます。 ・調整と混合 ・供給と輸送 ・除去と回収 GEMÜ製品は抵抗の少ないシート形状で,バルブと流体の双方に負荷をかけない設計となっています。 接液部の材質はすべてPTFEまたはPFAとし,十分な耐薬品性を備えるとともに,砥粒を含むスラリーの研磨性に対しても高い耐久性を持ちます。...

    メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社

  • 用途例『マイクロエレクトロニクスにおけるスラリーシステム』 製品画像

    用途例『マイクロエレクトロニクスにおけるスラリーシステム』

    CMPスラリーに最適なバルブのご提案

    CMPスラリーのアプリケーションには極めて厳しい仕様要求があります。GEMÜのコンポーネントはその要求を満たしながら,流量を最大化する構造を持ち,研磨性スラリーを安全に運びます。 このアプリケーションには...

    メーカー・取り扱い企業： ゲミュージャパン株式会社

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