高圧パルスジェット DP-Gun　マスク・ガラス・ウェハー洗浄に

同じ圧力なら水の使用量が1/3、同じ流量なら圧力が3倍、少ない流量で繰…

　・　操作パネル 　・　外部制御対応（スタート・ストップ・アラーム出力等） ■設定項目 　１　圧力 (供給圧力 2～10MPa) 　２　周波数 (スプレー回数 5～30Hz） 　３　パルス幅 (スプレー開時間 5～15ms） 　※1　ノズルチップの形状・ポンプ容量　は　洗浄の目的 　　　　必要流量・DP-Gunの設置数量により別途ご相談となります ■その他 　　DP...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクニカルフィット

DLCコーティング加工　PEKURIS COAT

他に類を見ない三次元成膜技術で、不可能を現実にします。

PEKURIS COATは、株式会社栗田製作所独自開発のプラズマイオン注入成膜装置で成膜します。真空中にガスを導入し、処理基材自身にパルスRFと高圧パルスを印加することにより、ワーク（基材）に沿った形でプラズマの生成が可能です。またパルス電源を利用しているため、低温40℃～での処理も可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタロ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社栗田製作所 本社・京都事業部

高圧断続スプレー「DP-Gun」

各種マスクやガラス、ウェハー研磨後の洗浄に！1秒間に30回のノズル開閉…

　・　操作パネル 　・　外部制御対応（スタート・ストップ・アラーム出力等） ■設定 　１　圧力 (供給圧力 2～10MPa) 　２　周波数 (スプレー回数 5～30Hz） 　３　パルス幅 (スプレー開時間 5～15ms） 　※1　ノズルチップの形状・ポンプ容量　は　洗浄の目的 　　　　必要流量・DP-Gunの設置数量により別途ご相談となります ■その他 　　DP...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクニカルフィット