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基板用ステージの昇降・ウェハーの搬送に!入江工研のベローズ式直線導入機
『ベローズ式直線導入機』は、高性能の溶接ベローズを内蔵し、 長ストロークを可能にした直線方向に駆動するタイプの導入機です。 基板用ステージの昇降やウェハーの搬送などにご使用いただいております。 他...
メーカー・取り扱い企業: 入江工研株式会社
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3kg・cmから最高100kg・cmの高トルクタイプのものまで各種ご用…
当製品は、真空中に取り付けた機器の回転運動の導入に用い、圧力が 10^-8Pa以下の超真空領域まで使用することが可能な回転導入機です。 磁気結合型回転導入機とベローズ式回転導入機をご用意。 真空ブレージング接合を採用し、エラストマーシールは一切使用して おりませんので、超高真空系に適しています。 【特長】 ■大きな伝達トルク ■長寿命 ■ベ...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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構成部品はすべて非磁性体!真空側と大気側をベローズで完全に遮断したベロ…
入機』は、真空中に取り付けた機器の直線運動の導入に用い、 圧力が10^-8Pa以下の超高真空領域まで使用できます。 オールメタルなのでハードベークが可能。超高真空系に適しています。 ベローズの伸縮を利用し真空内に直線運動を導入するため、操作中での リークの心配がありません。 【特長】 ■真空側と大気側とを、ベローズで完全に遮断したベローズ式直線導入機 ■構成部品はすべて非...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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コンパクトタイプの直線導入機!基板用ステージの昇降・ウェハーの搬送に!
『ベローズ式コンパクト直線導入機(ILC)』は、高性能の溶接ベローズを内蔵し、 長ストロークを可能にした直線方向に駆動するタイプの導入機です。 基板用ステージの昇降やウェハーの搬送などにご使用いただ...
メーカー・取り扱い企業: 入江工研株式会社
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コンパクトタイプの回転導入機!基板用ステージの昇降・ウェハーの搬送に!
『コンパクト回転導入機(IRC)』は、高性能の溶接ベローズを内蔵し、 高真空を遮断し、回転運動を伝えるためのユニットです。 真空と大気の遮断には金属製の溶接ベローズを用いているので、 超高真空領域までご使用いただけます。 回転位置決め精度...
メーカー・取り扱い企業: 入江工研株式会社
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