回転導入機(磁気結合型・ベローズ式)

3kg･cmから最高100kg･cmの高トルクタイプのものまで各種ご用…

当製品は、真空中に取り付けた機器の回転運動の導入に用い、圧力が 10^-8Pa以下の超真空領域まで使用することが可能な回転導入機です。 磁気結合型回転導入機とベローズ式回転導入機をご用意。 真空ブレージング接合を採用し、エラストマーシールは一切使用して おりませんので、超高真空系に適しています。 【特長】 ■大きな伝達トルク ■長寿命 ■ベ...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

真空部品『直線導入機』

構成部品はすべて非磁性体！真空側と大気側をベローズで完全に遮断したベロ…

入機』は、真空中に取り付けた機器の直線運動の導入に用い、 圧力が10^-8Pa以下の超高真空領域まで使用できます。 オールメタルなのでハードベークが可能。超高真空系に適しています。 ベローズの伸縮を利用し真空内に直線運動を導入するため、操作中での リークの心配がありません。 【特長】 ■真空側と大気側とを、ベローズで完全に遮断したベローズ式直線導入機 ■構成部品はすべて非...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

ガス導入バルブ『951-7179 インレットバルブ』

軸シールにベローズを使用！ガス導入時大気の混入する心配がありません

『951-7179 インレットバルブ』は、真空装置内に特定ガスを 導入するための製品です。 軸シールはオーステナイト系ステンレス鋼製ベローズを、 真空シールはふっ素ゴム(バイトン)を使用。 高真空、超高真空装置をリークさせる際のガス導入用バルブとして 適しています。また、10^-7Pa程度の超高真空領域まで使用可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

超高真空L型オールメタルバルブ

優れた許容加熱性！400℃または450℃までベークアウトが可能

『超高真空L型オールメタルバルブ』は、10^-8Pa以下まで使用できる 全金属製の製品です。 バルブボディにはオーステナイト系ステンレス鋼を、軸シールにも オーステナイト系ステンレス鋼製ベローズを使用。 全溶接構造で、真空にさらされる個所はオイルフリーで清浄です。また、 弁封止構造はICFフランジ同様の信頼性の高いCapturingシール構造を 採用しています。 【特長】...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

L型バルブ『Vシリーズ』

豊富な接続フランジ！バルブボディはステンレス鋼を使用

『Vシリーズ』は、長寿命化とメンテナンス性向上を図ったL型バルブで バルブに内蔵しているベローズは、材質にハステロイ合金を採用しています。 標準でバルブに使用しているエアーシリンダには全て、 開閉用のポジションセンサスイッチ(磁気センサー)を装備。 バルブボディはステンレス鋼を...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

超高真空L型ポリイミドバルブ

ポリイミド樹脂を使用！最高300℃までの繰り返しベーキングに耐えること…

樹脂を使用。 150℃以上のベーキングを伴なう超高真空装置用バルブとして適しています。 また、バルブボディにはオーステナイト系ステンレス鋼を、軸シールにも オーステナイト系ステンレス鋼製ベローズを使用しています。 【特長】 ■10-8Pa程度の超高真空領域まで使用できる ■優れた許容加熱性 ■ガス放出の少ないシール材 ■小さな締付けトルク ※詳しくはPDF資料をご覧い...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社