サーフェイスチャージプロファイラー QCS2500

非接触でエピウェハの抵抗率をモニター可能！

QC2500シリーズは、非接触でエピタキシャルウェハーの抵抗率をモニターすることができます。測定原理としてサーフェイスフォトボルテージ（ＳＰＶ）法を用いてウェハー上にパルス光を照射することによりウェハー表面電位変化を検出し、空乏層幅を測定します。強反転状態の空乏層幅が...

メーカー・取り扱い企業： 日本セミラボ株式会社 新横浜本社

非接触CV測定装置 Cn0CV

非接触式の重金属汚染・CV/IV・膜評価装置。 鉄濃度測定の感度はD…

【特徴】 ■非接触CV/IVインライン測定 ■超高感度汚染管理（E8レベル鉄濃度測定） ■パタンモニター測定可能（SLモデル） ■PDM 【主な測定・評価項目】 ■汚染管理 -DSPVによる拡散長測定 -鉄濃度測定（E8レベル） ■膜評価 - 電気的膜厚（CET/EOT) -...

メーカー・取り扱い企業： 日本セミラボ株式会社 新横浜本社

表面電荷分析装置 SCA2011

表面電荷分析装置

面準位密度の測定 　　■酸化膜工程 　　　・ウェハー汚染やプラズマ損傷による酸化膜中 　　　　電荷量の変化 　　　・熱ストレス等による界面準位密度の変化 　　　・窒化酸化膜中の固定電荷モニター 　　■洗浄工程管理 　　　・ウェハー洗浄後の表面状態の電荷量チェック 　　■ＣＶＤ工程管理 　　　・膜中トラップ電荷状態のチェック ...

メーカー・取り扱い企業： 日本セミラボ株式会社 新横浜本社