WETプロセス装置　枚葉スピンプロセッサー

装置を複数台配置することにより、容易にマルチプロセスを実現可能です。

ことができます。（例：現像→エッチング→洗浄、乾燥） 株式会社電子技研の洗浄等のスピンをはじめとするWET装置技術は、ウエハ・ガラス基板等をはじめ、プリント基板、金属基板等の洗浄、その他多用途で半導体・LCD業界、医療業界、食品業界他、幅広い業界のニーズに対応できます。 【特徴】 ○優れたパーティクル除去性能 ○高速スピン洗浄によるタクトタイムの大幅短縮が可能 ○省スペースによるコ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

WETプロセス装置　LCDマスク洗浄装置

マスクをブラシ・USスプレーで洗浄、高速スピン回転で乾燥します。

レーにて洗浄し、高速スピン回転により乾燥を行います。 株式会社電子技研の洗浄等のスピンをはじめとするWET装置技術は、ウエハ・ガラス基板等をはじめ、プリント基板、金属基板等の洗浄、その他多用途で半導体・LCD業界、医療業界、食品業界他、幅広い業界のニーズに対応できます。 【特徴】 ○インテリジェンスコントロールによるマスク基板へのソフトコンタクト ○メカニカルサイドグリップ方式を採用...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

WETプロセス装置　LCDカセット洗浄装置

圧縮エアーとスピン回転の併用により高レベル乾燥を実現しました。

ブロー及びトルネードスピン回転により乾燥を行います。 株式会社電子技研の洗浄等のスピンをはじめとするWET装置技術は、ウエハ・ガラス基板等をはじめ、プリント基板、金属基板等の洗浄、その他多用途で半導体・LCD業界、医療業界、食品業界他、幅広い業界のニーズに対応できます。 【特徴】 ○シンプルな機構設計で省スペース、省エネルギー化を実現 ○カセット内側の専用ノズルによりコーム洗浄を行う...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

WETプロセス装置　枚葉基板洗浄装置

基板を水平搬送にて、各種洗浄、乾燥処理を行います。

ャワースプレー洗浄、超音波洗浄、乾燥処理を行います。 株式会社電子技研の洗浄等のスピンをはじめとするWET装置技術は、ウエハ・ガラス基板等をはじめ、プリント基板、金属基板等の洗浄、その他多用途で半導体・LCD業界、医療業界、食品業界他、幅広い業界のニーズに対応できます。 【特徴】 ○UV/O3によるシャワースプレー洗浄前の親水性を向上 ○UV洗浄/シャワースプレー洗浄/乾燥等のプロセ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

WETプロセス装置　マルチスピンプロセッサー

スピン＆スプレーを併用し、高精度で均一なプロセスを実現しました。

レー方式にて現像/エッチング/乾燥処理を行ないます。 株式会社電子技研の洗浄等のスピンをはじめとするWET装置技術は、ウエハ・ガラス基板等をはじめ、プリント基板、金属基板等の洗浄、その他多用途で半導体・LCD業界、医療業界、食品業界他、幅広い業界のニーズに対応できます。 【特徴】 ○スピン＆スプレー併用により高精度で均一なプロセスを実現 ○ダブルハンドロボットによる搬送 ○現像/エ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

WETプロセス装置　LCD枚葉エッチング装置

LCD用基板を水平搬送にて、エッチング・シャワー洗浄、乾燥処理を行いま…

にて、エッチング・シャワー洗浄、乾燥処理を行います。 株式会社電子技研の洗浄等のスピンをはじめとするWET装置技術は、ウエハ・ガラス基板等をはじめ、プリント基板、金属基板等の洗浄、その他多用途で半導体・LCD業界、医療業界、食品業界他、幅広い業界のニーズに対応できます。 【特徴】 ○ディップ、スプレー及び揺動機能方式エッチングにより 　均一なプロセスを実現 ○エッチング/シャワー洗...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研