【半導体分野へご提案】表面検査装置・レジスト・精密位置制御

弊社が得意とする【半導体分野向けソリューション】をお客様に合わせてご提…

弊社が得意としているナノオーダーの表面解析機器の他、 半導体プロセス向けのレジスト液、マスクレス露光装置、精密位置制御装置をご提案致します。...

メーカー・取り扱い企業： 日本カンタム・デザイン株式会社

［SEM］走査電子顕微鏡法

高倍率観察(30万倍程度まで)が可能

6インチまで装置に搬入可能（装置による） ・SEMにオプションを組み合わせることにより、様々な情報を得ることが可能 　EDX検出器による元素分析が可能 　電子線誘起電流（EBIC）を測定し、半導体の接合位置・形状を評価 　電子後方散乱回折（EBSD)法により、結晶情報を取得可能 　FIB加工とSEM観察の繰り返しにより、立体的な構造情報を取得可能（Slice & View） 　冷却観...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST