半導体向け真空ポンプ ※SEMICON Japan2019に出展

ターボ分子ポンプやドライ真空ポンプなど電子部品や半導体製造に必要なポン…

IoT社会を実現するためには様々な電子部品・半導体等が必要であり、これらを製作するために適切な真空環境が不可欠です。その真空環境を作り上げるのに必要な真空ポンプにもIoT対応が出来るよう、当社は考えています。 今回は半導体向け真空ポンプを中心に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

圧縮エアー駆動のダブルダイヤフラムポンプ『TCシリーズ』

高圧吐出・圧力制御が容易で完全自給式。スラリー液や高粘度液、薬液の搬送…

プと樹脂タイプを合わせ、100を超える豊富な機種を取り揃え。 心臓部のエアー切換方式に、新開発のループドＣスプールと新メカニカル方式を採用することで作動安定性が向上しました。 製造プロセスから半導体、装置・機器搭載まで、幅広くご使用いただけます。 【特長】 ■Max.0.7MPa（一部0.85MPa）の高圧吐出 ■完全自吸式で呼び水が不要 ■圧縮エアーで駆動するため防爆対策は不要...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イワキ

磁気浮上型インテグレーテッドポンプ BPS-i100

Compact & Resonable for Highend Pro…

組込み費用が安くなります。 電子的に回転数をコントロールできます。 エア駆動ベローズポンプ、遠心式マグネットポンプより小型で、小さな取付面積で設備・装置の省スペース化を実現します。 医療及び半導体業界で実績のあるオリジナル技術を採用しています (平均故障間隔 /MTBF> 50年)。...

メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社

磁気浮上型ベアリングレスポンプ　BPS-600

Better pump for Better Yields !

【主な特長】 ○寿命がある軸受や、摩耗するシールを使わない ○微粒子の発生がほとんどない →接液部に機械的接触がない部品で構成されている為 →半導体洗浄プロセスでの微粒子発生他ポンプに比べ10～50倍微粒子の発生が減少する ○保守コストを削減 →軸受･バルブ･軸シール等がなく、高額なオーバーホールも不要な為 ○装置の稼働率が高めら...

メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社

磁気浮上型ベアリングレスポンプ Puralev200M.U.

Low Share Design - High Cell Viabil…

SEフリー 簡単な分解洗浄が可能(マルチユースタイプのみ） トリクランプ継手とによる無菌用ポンプケーシングデザイン 小型で省スペース 空運転でも壊れない 豊富な医療用（シングルユース）と半導体産業用の（高純度ポンプ）経験と技術 小型で大流量 無脈動 ...

メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社

磁気浮上型ベアリングレスポンプ BPS-2000

寿命がある軸受や摩耗するシールを使わない、革新的な磁気浮上式遠心ポンプ…

【主な特長】 ○寿命がある軸受や、摩耗するシールを使わない ○微粒子の発生がほとんどない →接液部に機械的接触がない部品で構成されている為 →半導体洗浄プロセスでの微粒子発生他ポンプに比べ10～50倍微粒子の発生が減少する ○保守コストを削減 →軸受･バルブ･軸シール等がなく、高額なオーバーホールも不要な為 ○装置の稼働率が高めら...

メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社

電動式ケミカルドラムポンプ「CHD1-20SUSN（N/V）」

接液部材質SUS・PTFE・FFKM採用で、対応液体が弊社従来品（CH…

全法）適合品の為、安心・安全 ●JIS規格200Lクローズドラム缶（大栓G2）専用 ●低粘度溶剤用（100cP以下） ●吐出量22L/min ●吐出専用 《現場》 金属メッキ工場や半導体 製造用などだけでなく、化学薬品工場、薬品倉庫などの現場でも活躍。また、上水排水処理、薬行、研究所や学校、病院でも使用されております。揮発性が高い場所や引火性の高い場所、防爆地域、火気厳禁エリアで...

メーカー・取り扱い企業： アクアシステム株式会社 本社、須越工場、AQUASYSTEM(中国、タイ、ベトナム)

圧縮エアー駆動のダブルダイヤフラムポンプ『TCシリーズ』

高圧吐出・圧力制御が容易で完全自給式。スラリー液や高粘度液、薬液の搬送…

プと樹脂タイプを合わせ、100を超える豊富な機種を取り揃え。 心臓部のエアー切換方式に、新開発のループドＣスプールと新メカニカル方式を採用することで作動安定性が向上しました。 製造プロセスから半導体、装置・機器搭載まで、幅広くご使用いただけます。 【特長】 ■Max.0.7MPa（一部0.85MPa）の高圧吐出 ■完全自吸式で呼び水が不要 ■圧縮エアーで駆動するため防爆対策は不要...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イワキ

メタルベローズポンプMB-111／MB-151

中型機種になり吐出圧・流量とも用途幅の広いシリーズ。半導体プロセスガス…

メタルベローズポンプは、フレキシブルなステンレス製ベローズダイヤフラムの 特徴を生かした容積式ポンプです。 ガス用の真空ポンプ、昇圧コンプレッサーとして使用することができます。 【特長】 ■優れた気密性 　リークタイト　1.0x10E-7 ～1.0x10E-9 std.cc/sec (He) ■コンタミネーション無し 　構造上磨耗部が無く、流体ガスへのコンタミネーションがない...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＩＢＳ

磁気浮上型ベアリングレスポンプ Puralev2000S.U.

Low Share Design - High Cell Viabil…

直観的かつ簡単なソケット式ディスポーサブルポンプヘッドの脱着 トリクランプ継手とによる無菌用ポンプケーシングデザイン 小型で省スペース 空運転でも壊れない 豊富な医療用（シングルユース）と半導体産業用の（高純度ポンプ）経験と技術 小型で大流量 無脈動 ...

メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社

磁気浮上型インテグレーテッドポンプ BPS-i30

Compact & Resonable for Highend Pro…

組込み費用が安くなります。 電子的に回転数をコントロールできます。 エア駆動ベローズポンプ、遠心式マグネットポンプより小型で、小さな取付面積で設備・装置の省スペース化を実現します。 医療及び半導体業界で実績のあるオリジナル技術を採用しています (平均故障間隔 /MTBF> 50年)。...

メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社

磁気浮上型ベアリングレスポンプ Puralev200S.U.

Low Share Design - High Cell Viabil…

SEフリー 簡単な分解洗浄が可能(マルチユースタイプのみ） トリクランプ継手とによる無菌用ポンプケーシングデザイン 小型で省スペース 空運転でも壊れない 豊富な医療用（シングルユース）と半導体産業用の（高純度ポンプ）経験と技術 小型で大流量 無脈動 ...

メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社

磁気浮上型ベアリングレスポンプ Puralev600S.U.

Low Share Design - High Cell Viabil…

SEフリー 簡単な分解洗浄が可能(マルチユースタイプのみ） トリクランプ継手とによる無菌用ポンプケーシングデザイン 小型で省スペース 空運転でも壊れない 豊富な医療用（シングルユース）と半導体産業用の（高純度ポンプ）経験と技術 小型で大流量 無脈動 ...

メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社

磁気浮上型ベアリングレスポンプ Puralev600M.U.

Low Share Design - High Cell Viabil…

SEフリー 簡単な分解洗浄が可能(マルチユースタイプのみ） トリクランプ継手とによる無菌用ポンプケーシングデザイン 小型で省スペース 空運転でも壊れない 豊富な医療用（シングルユース）と半導体産業用の（高純度ポンプ）経験と技術 小型で大流量 無脈動 ...

メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社

磁気浮上型ベアリングレスポンプ Puralev2000M.U.

Low Share Design - High Cell Viabil…

SEフリー 簡単な分解洗浄が可能(マルチユースタイプのみ） トリクランプ継手とによる無菌用ポンプケーシングデザイン 小型で省スペース 空運転でも壊れない 豊富な医療用（シングルユース）と半導体産業用の（高純度ポンプ）経験と技術 小型で大流量 無脈動 ...

メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社

磁気浮上型ベアリングレスポンプ BPS-200

Better Pumps for Better Yields !

【主な特長】 ○寿命がある軸受や、摩耗するシールを使わない ○微粒子の発生がほとんどない →接液部に機械的接触がない部品で構成されている為 →半導体洗浄プロセスでの微粒子発生他ポンプに比べ10～50倍微粒子の発生が減少する ○保守コストを削減 →軸受･バルブ･軸シール等がなく、高額なオーバーホールも不要な為 ○装置の稼働率が高めら...

メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社

磁気浮上型ベアリングレス　BPS-4000

Better pump for Better Yields !

【主な特長】 ○寿命がある軸受や、摩耗するシールを使わない ○微粒子の発生がほとんどない →接液部に機械的接触がない部品で構成されている為 →半導体洗浄プロセスでの微粒子発生他ポンプに比べ10～50倍微粒子の発生が減少する ○保守コストを削減 →軸受･バルブ･軸シール等がなく、高額なオーバーホールも不要な為 ○装置の稼働率が高めら...

メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社