【半導体分野へご提案】表面検査装置・レジスト・精密位置制御

弊社が得意とする【半導体分野向けソリューション】をお客様に合わせてご提…

弊社が得意としているナノオーダーの表面解析機器の他、 半導体プロセス向けのレジスト液、マスクレス露光装置、精密位置制御装置をご提案致します。...

メーカー・取り扱い企業： 日本カンタム・デザイン株式会社

薄膜評価装置『分光エリプソメーター』

【デモ可能】化合物半導体材料の組成比の評価も可能！非接触・非破壊でエピ…

『分光エリプソメーター』は、非接触・非破壊でエピ膜を含む薄膜の膜厚値、 屈折率、消衰係数を精度良く測定する薄膜評価装置です。 化合物半導体材料の組成比の評価も可能。 主な評価・測定項目は、“薄膜の膜厚値”、“エピ膜厚値”、“屈折率”、 “消衰係数”、“化合物半導体の組成比”、“ドーパント濃度”です。 【主な評価・測定項...

メーカー・取り扱い企業： 日本セミラボ株式会社 新横浜本社

マルチターン飛行時間型質量分析装置『infiTOF-UHV』

半導体プロセス、燃料電池、材料、燃焼モニタリング等、リアルタイム分析に…

infiTOF-UHVは、現行製品であるinfiTOFをベースに、半導体プロセス、燃料電池、材料、燃焼モニタリング等、リアルタイム分析に特化して開発された高分解能飛行時間型質量分析計です。真空容器を含め接ガス部分にはチタン材を用いることで耐腐食性を向上させると共に、真...

メーカー・取り扱い企業： MSI TOKYO株式会社

Tec5社製ラマン分光装置「MultiSpec Raman」

簡便に素早く、ラマン散乱の検出を可能としたシステムです

用も実現。 内蔵分光器はCarlZeiss社の高感度分光器が採用され、長時間の安定性を保証しております。 分光部は可動部が無くメンテナンスの必要性もありません。 【特徴】 ○温調機能付半導体レーザー →レーザー波⻑は 785nm、出⼒は 50-50mWで励起 ○分光器分解能は 5cm⁻¹ ○専⽤ラマンプローブは、サンプルによって、先端窓の焦点距離を 　オーダーメイドで製作 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社スペクトラ・コープ

［SEM］走査電子顕微鏡法

高倍率観察(30万倍程度まで)が可能

6インチまで装置に搬入可能（装置による） ・SEMにオプションを組み合わせることにより、様々な情報を得ることが可能 　EDX検出器による元素分析が可能 　電子線誘起電流（EBIC）を測定し、半導体の接合位置・形状を評価 　電子後方散乱回折（EBSD)法により、結晶情報を取得可能 　FIB加工とSEM観察の繰り返しにより、立体的な構造情報を取得可能（Slice & View） 　冷却観...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

EMIテスタ EMI-100/200 -電磁波ノイズ分析/測定-

電磁ノイズの発生源をどこまで特定できますか。

■機能 -APD（Amplitude Probability Distribution ： 振幅確率分布）機能 -位相測定機能 -リアルタイムスペアナ機能 -IEC61967-3（ 半導体EMI 測定方法）適合 -近傍の電界と磁界のベクトル分布の同時測定 -1GHzを超える、高い周波数での測定が可能（ 〜6GHz） -小型センサによる高い空間分解能（＜およそ1mm） -強度...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ペリテック 神奈川エンジニアリングセンター、東京営業所、ベトナム事業所

高分解能フーリエ変換赤外分光装置 nano-FTIR

赤外イメージング、分光測定が可能　10nmの空間分解能を実現します

外スペクトルのみを抽出し、10nmの空間分解能を実現します。励起波長も可視～テラヘルツまで対応し、マテリアルサイエンスの更なる追及をサポートします。 より高空間分解能が必要とされる科学分野や半導体技術、高分子化学やライフサイエンスに至る様々な分野に最適です。 【特長】 ■attocube systems社 特許　バックグラウンドノイズ除去技術 ■高空間分解能10nmでのイメージン...

メーカー・取り扱い企業： 日本カンタム・デザイン株式会社