• 応用例付きプラズマ技術資料 無償ダウンロード! 製品画像

    応用例付きプラズマ技術資料 無償ダウンロード!

    基板、樹脂、粉体、医療、半導体…。あらゆる分野で使えるプラズマ技術の応…

    当社の「プラズマ表面処理技術」をまとめた技術資料を無償配布中です。 プリント基板、フィルム、樹脂、粉体、医療、半導体後工程といった 分野を問わず活用できるプラズマ装置。 剥離、有機物除去、表面改質・洗浄など幅広い分野に活用できる技術を 用途例と合わせて解説しています。 【応用例の概要】 ■フッ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社電子技研

  • サンプル形状を選ばず、自由に処理!バレルタイプ プラズマ処理装置 製品画像

    サンプル形状を選ばず、自由に処理!バレルタイプ プラズマ処理装置

    微細なパターンやチューブ形状内面の洗浄、改質が可能!溶液を使用せずに洗…

    【装置特徴】 ■サンプル形状を選ばない自由な処理(円筒形処理室/等方性プラズマ) ■多様なプロセス:Ashing(洗浄)、Etching、表面改質等 ■部品は全てクリーンルーム対応(半導体製造装置として使用可能) ■廉価、小フットプリント設計 ■量産装置としてお使い頂ける安全仕様 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社電子技研

  • WETプロセス装置 枚葉スピンプロセッサー 製品画像

    WETプロセス装置 枚葉スピンプロセッサー

    装置を複数台配置することにより、容易にマルチプロセスを実現可能です。

    ことができます。(例:現像→エッチング→洗浄、乾燥) 株式会社電子技研の洗浄等のスピンをはじめとするWET装置技術は、ウエハ・ガラス基板等をはじめ、プリント基板、金属基板等の洗浄、その他多用途で半導体・LCD業界、医療業界、食品業界他、幅広い業界のニーズに対応できます。 【特徴】 ○優れたパーティクル除去性能 ○高速スピン洗浄によるタクトタイムの大幅短縮が可能 ○省スペースによるコ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社電子技研

  • 真空装置 平行平板評価用プラズマ処理装置   製品画像

    真空装置 平行平板評価用プラズマ処理装置  

    半導体、液晶の微細パターニング、DNAチップ製造など微細異方性加工に広…

    チャンバー手動開閉式研究開発用タイプから大気ゲート、搬送機構、カセットステーションを増設した全自動システムまで貴社のご要望に適したバージョンが選択できます。プロセス再現性を重視し電極温調用チラー、APCを標準装備し、高真空プロセス対応のターボポンプを増設することができます。 【特長】 ○RIEプラズマエッチング装置 ○6インチまでのシリコンウエハ、小型角基板の異方性エッチングが可能 ○...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社電子技研

  • 保守・メンテナンスサービス 製品画像

    保守・メンテナンスサービス

    半導体・液晶・太陽電池製造設備の保守・メンテナンスは当社にお任せ下さい

    各種電子デバイス製造装置の保守・メンテナンスを行っております。 24h体制の常駐対応からスポットの定期点検まで、ニーズに合わせて対応致します。...<対応実績> CVD装置, Dry Etching装置, 拡散炉/酸化炉, Wet洗浄装置, Wet Etching装置, 基板搬送装置, コーター/デベロッパー, ステッパー, など 詳しくは、お問い合わせ下さい。...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社電子技研

  • バレルタイププラズマ処理装置 PBシリーズ 製品画像

    バレルタイププラズマ処理装置 PBシリーズ

    等方性プラズマを利用 微細なパターンやチューブ形状内面の洗浄、改質に最…

    【装置特徴】 ■サンプル形状を選ばない自由な処理(円筒形処理室/等方性プラズマ) ■多様なプロセス:Ashing(洗浄)、Etching、表面改質等 ■部品は全てクリーンルーム対応(半導体製造装置として使用可能) ■廉価、小フットプリント設計 ■量産装置としてお使い頂ける安全仕様 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社電子技研

  • WETプロセス装置 LCDマスク洗浄装置 製品画像

    WETプロセス装置 LCDマスク洗浄装置

    マスクをブラシ・USスプレーで洗浄、高速スピン回転で乾燥します。

    レーにて洗浄し、高速スピン回転により乾燥を行います。 株式会社電子技研の洗浄等のスピンをはじめとするWET装置技術は、ウエハ・ガラス基板等をはじめ、プリント基板、金属基板等の洗浄、その他多用途で半導体・LCD業界、医療業界、食品業界他、幅広い業界のニーズに対応できます。 【特徴】 ○インテリジェンスコントロールによるマスク基板へのソフトコンタクト ○メカニカルサイドグリップ方式を採用...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社電子技研

  • WETプロセス装置 LCDカセット洗浄装置 製品画像

    WETプロセス装置 LCDカセット洗浄装置

    圧縮エアーとスピン回転の併用により高レベル乾燥を実現しました。

    ブロー及びトルネードスピン回転により乾燥を行います。 株式会社電子技研の洗浄等のスピンをはじめとするWET装置技術は、ウエハ・ガラス基板等をはじめ、プリント基板、金属基板等の洗浄、その他多用途で半導体・LCD業界、医療業界、食品業界他、幅広い業界のニーズに対応できます。 【特徴】 ○シンプルな機構設計で省スペース、省エネルギー化を実現 ○カセット内側の専用ノズルによりコーム洗浄を行う...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社電子技研

  • WETプロセス装置 枚葉基板洗浄装置 製品画像

    WETプロセス装置 枚葉基板洗浄装置

    基板を水平搬送にて、各種洗浄、乾燥処理を行います。

    ャワースプレー洗浄、超音波洗浄、乾燥処理を行います。 株式会社電子技研の洗浄等のスピンをはじめとするWET装置技術は、ウエハ・ガラス基板等をはじめ、プリント基板、金属基板等の洗浄、その他多用途で半導体・LCD業界、医療業界、食品業界他、幅広い業界のニーズに対応できます。 【特徴】 ○UV/O3によるシャワースプレー洗浄前の親水性を向上 ○UV洗浄/シャワースプレー洗浄/乾燥等のプロセ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社電子技研

  • WETプロセス装置 マルチスピンプロセッサー 製品画像

    WETプロセス装置 マルチスピンプロセッサー

    スピン&スプレーを併用し、高精度で均一なプロセスを実現しました。

    レー方式にて現像/エッチング/乾燥処理を行ないます。 株式会社電子技研の洗浄等のスピンをはじめとするWET装置技術は、ウエハ・ガラス基板等をはじめ、プリント基板、金属基板等の洗浄、その他多用途で半導体・LCD業界、医療業界、食品業界他、幅広い業界のニーズに対応できます。 【特徴】 ○スピン&スプレー併用により高精度で均一なプロセスを実現 ○ダブルハンドロボットによる搬送 ○現像/エ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社電子技研

  • WETプロセス装置 LCD枚葉エッチング装置 製品画像

    WETプロセス装置 LCD枚葉エッチング装置

    LCD用基板を水平搬送にて、エッチング・シャワー洗浄、乾燥処理を行いま…

    にて、エッチング・シャワー洗浄、乾燥処理を行います。 株式会社電子技研の洗浄等のスピンをはじめとするWET装置技術は、ウエハ・ガラス基板等をはじめ、プリント基板、金属基板等の洗浄、その他多用途で半導体・LCD業界、医療業界、食品業界他、幅広い業界のニーズに対応できます。 【特徴】 ○ディップ、スプレー及び揺動機能方式エッチングにより  均一なプロセスを実現 ○エッチング/シャワー洗...

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