半導体レーザー発振器『OP-Laserシリーズ』

透過・反射測定の照射用、蛍光測定の励起用、アップコンバージョン、ラマン…

『OP-Laserシリーズ』は、透過・反射測定、蛍光測定の励起用、 アップコンバージョン、ラマン計測、Lidar等の様々な光学測定に 対応が可能な半導体レーザーモジュールです。 波長・出力・出力方式・パルス幅等、アプリケーションに合わせて、 特注仕様でのご提供が可能。 またレーザー部分だけでなく、検出器と組み合わせてのシステムアップ...

メーカー・取り扱い企業： オーシャンフォトニクス株式会社

プラズマモニタ

エッチング・スパッタ・CVD等プラズマモニタに好適！

プティクス社製の小型分光器は、リアルタイムでチャンバ内の プラズマ発光スペクトルを取得するために多くのお客様から選ばれています。 これらの発光スペクトルから求めたプラズマ特性を監視し、 半導体製造におけるプラズマベースのプロセス制御等に好適です。 『プラズマモニタ』は、スタンダードモデルのFLAMEをはじめ、高分解能モデルの HR4000またはバッファリング対応UV高感度モデル...

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標準フランジ付真空フィードスルー『VFTシリーズ』

真空チャンバの中へ、または真空チャンバから外へ光を導くために使用

『VFTシリーズ』は、半導体プロセスにおける光学モニタリングおよび 薄膜蒸着のエンドポイントの検出を含む各種の超高真空アプリケーション用 アクセサリです。 真空チャンバの中へ、または真空チャンバから外へ光を導くため...

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モジュール式ラマンシステム RAMAN-QE

RAMAN-QE は裏面入射型CCDディテクタ搭載・高感度の小型ファイ…

ル範囲(*注)と分解能（参考値）が決定します。 * 注）システムのスペクトル範囲は分光器とラマンプローブの組合せにより決定します。 ■　励起レーザ ラマン測定用の励起光としてコンパクトな半導体レーザをご用意しています。 ■　ラマンプローブ 励起レーザの波長に対応した光学フィルタを内蔵したラマンプローブです。 ご用途に応じて、レンズ（焦点距離：5mm,7.5mm,10mmから選...

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反射測定リファレンス用 高反射用鏡面板『STAN-SSH』

正反射成分の強いサンプルの反射測定のリファレンスに好適な鏡面反射板。

『STAN-SSH』は、ミラー石英ガラス製の高反射用鏡面板です。 反射率の高い光学基盤、光学コーティング、機械加工した金属、および 半導体材質などの表面正反射測定の際のリファレンスとして適しています。 通常タイプの「STAN-SSH」とNIST準拠の「STAN-SSH-NIST」をラインアップ。 また、保持用の便利なアクセサ...

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膜厚測定

膜厚測定に関するアプリケーション情報を詳しく解説します

オーシャンオプティクスは、半導体、産業、医療および消費者市場の アプリケーション向けに光学的および非光学的膜厚特性を測定するための モジュラー式および完全統合型システムの両方を提供しています。 顧客は、シリコンウェーハ...

メーカー・取り扱い企業： オーシャンフォトニクス株式会社

真空フィードスルー『VFT シリーズ』

350 ℃までの高温対応！真空チャンバー用の真空フィードスルー

『VFT シリーズ』は、半導体プロセスにおける光学モニタリング および薄膜蒸着のエンドポイントの検出を含む各種の 超高真空アプリケーション用アクセサリです。 真空チャンバの中へ、または真空チャンバから外へ光を導くため...

メーカー・取り扱い企業： オーシャンフォトニクス株式会社