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大流量・高温・高性能。生産性向上に貢献する超高純度用ALD用バルブ
超高純度用Swagelok ALD(原子層蒸着)用バルブは、非常に優れたサイクル・ライフ、高速作動、流量、高温対応性、極めて高い清浄度を備えており、半導体製造アプリケーションにおいて正確なプリカーサーの投与を実現します。 ...
メーカー・取り扱い企業: スウェージロック・ジャパン
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信頼性の高いパフォーマンス。引張強さ、耐透過性、熱安定性、流量、耐クリ…
Swagelok(R) PFA製フレアー継手は、半導体製造など反応性・腐食性の高い化学物質を取り扱う過酷な アプリケーションにおいて、信頼性の高いパフォーマンスを発揮します。 このPFA継手に加え、スウェージロックでは、空気作動式および1/4回転手...
メーカー・取り扱い企業: スウェージロック・ジャパン
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数百万サイクルにわたり、ALD用プリカーサーの高精度供給を実現。半導体…
超高純度用ダイヤフラム・バルブ「ALD7」は、 半導体製造の原子層蒸着(ALD)に必要なプリカーサーなど 超高純度の流体を、高精度で安定供給できるバルブです。 製品ごとの個体差を減らしたことで、 流量、アクチュエーターの速度、熱安定性などの各種性能...
メーカー・取り扱い企業: スウェージロック・ジャパン
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適切な手法と事例紹介!安全で効率的「サンプリング・システム」
半導体電子材料、電子材料・化学原料などの適切なサンプリング手法とシステ…
化により、人的ミスや作業品質のバラツキ防止などのニーズに応える『グラブ・サンプリング・システム』を提供しています。 現在、適切なサンプリングのポイントと同システムについて紹介した資料を進呈中。 半導体化学原料をはじめとする原材料・最終製品の品質確保、引火性液体のサンプリングにおける事故リスク防止などの成功事例も多数掲載されています。...
メーカー・取り扱い企業: スウェージロック・ジャパン
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『原子層蒸着(ALD)用バルブ』※性能テスト結果付き技術資料進呈
高速開閉、非常に優れたサイクル・ライフ。大流量や高温環境、腐食性流体に…
スウェージロック社は、ALDバルブ技術で世界をリードする企業のひとつとして、 半導体デバイス製造アプリケーション向けのソリューションをお届けします。 【特長】 ○非常に優れたサイクル・ライフを実現する独自のデザイン ○高速の開閉機能 ○高温下でも安定した流量を実現 ...
メーカー・取り扱い企業: スウェージロック・ジャパン
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さらなる領域へ、ALDバルブ技術のブレイクスルー
半導体デバイスの微細化に欠かせないALDプロセス。ガス供給を制御する高い性能が求められるバルブ。 スウェージロック・ジャパン『ALD20』は大流量・高温用途に対応したALD用バルブの新製品です。 高速開閉・長寿命・高い再現性といった特長を有し、アクチュエーターなど各種オプションも用意。...
メーカー・取り扱い企業: スウェージロック・ジャパン
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減圧レギュレーター/背圧レギュレーター/スプリング・ロード式/ドーム・…
エンド・コネクション・サイズ:1/4インチから4インチまで 最高使用圧力:70.0 MPa 使用温度範囲:-20°C から80°C ま オイル、ガス、化学/石油化学、代替燃料、半導体に適した高品質な製品を「RHPS シリーズ」として展開。 ◯減圧レギュレーター/背圧レギュレーター ・スプリング・ロード式(ノブ調整タイプ) ・スプリング・ロード式(ねじ調整タイプ) ・ド...
メーカー・取り扱い企業: スウェージロック・ジャパン
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優れた断熱性と柔軟性を兼ね備えたホースで課題解決。多様なラインナップで…
半導体デバイス製造の世界では、特に精度と清浄度が優先されます。 スウェージロックのホース製品は、低温流体の移送、高圧・高温環境や真空環境での使用など、幅広いニーズに対応する製品ラインアップで、長期的な使用を実現します。 【特長】 ■優れた耐久性 ■柔軟性に優れ、レイアウトの自由度が高い ■薄く、断熱性に優れた断熱材を採用しているため、従来の半分の口径 ■高い断熱性を保持するため、CO2削...
メーカー・取り扱い企業: スウェージロック・ジャパン
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半導体・FPD・太陽電池・LED業界のベンチマーク スウェージロック…
VCR(R) メタル・ガスケット式面シール継手は、高純度の金属同士のシールにより、真空から正圧まで、 漏れのない締め切りを行います。 毎回、確実に再取り付けを行うことができ、メンテナンスやダウンタイムに 要するコストを最小限に抑えます。 【VCR継手は、経済産業大臣認定品の供給も可能です。】...【特徴】 ・グランドおよびボディは平均値で0.25 µm Raの標準表面仕上げ ・「たまり」とな...
メーカー・取り扱い企業: スウェージロック・ジャパン
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3分で分かる!マンガ「安全で効率的な液体用のサンプル採取方法」
サンプル採取の作業時間を大幅に短縮可能! 安全性と利便性に追求したデザ…
でのサンプル採取にお困りの方必見です! スウェージロックの『流体サンプリング・システム』ならサンプル品質を維持しつつ、安全かつ効率的なサンプル採取を可能にします。 主に石油化学、ファインケミカル、半導体向け電子材料・薬液のサンプル採取における 作業の安全性や効率を向上させます。 マンガ資料では、過酷な作業環境下にて自動化による液体サンプル採取の採用事例をご紹介しています。 【導入のメリット】 ...
メーカー・取り扱い企業: スウェージロック・ジャパン
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