半導体用超高純度エアー駆動式ダイアフラムポンプ

クラス100のクリーンルーム内で組立を実施！ 特別に設計された半導体用…

半導体用超高純度ダイアフラムポンプ「SEMIシリーズ」は、半導体製造用に特別に設計製作されています。 製品の組立はクラス100のクリーンルーム内で行っており、全ての部品を純水で洗浄し、純水にてテストを行い、最後にプラスチックフォイルに密封され出荷されます。 全ての接液部品をPTFE/TFMで製作した「SEMI T」と「SEMI H」。 接液部品がUPPE（超純度ポリエチレン）製の「SEMI ...

メーカー・取り扱い企業： サニー・トレーディング株式会社 営業本部

薬液・超純水用ポンプ『ベローズポンプ』

高温薬液での高流量出力も可能な薬液・超純水用ポンプ

『ベローズポンプ』は、White Knight社製のテフロン製薬液供給ポンプです。 「小型、100%ノンメタル、高温時の高吐出量、メンテナンスフリー」などの 特長を活かして、US市場において50%以上のシェアを持っており、 各種半導体製造装置の標準部品として広く使用されております。 使用温度、薬液、流量に応じてお客様のアプリケーションに最適なポンプを 提供致します。 【特長...

メーカー・取り扱い企業： ファーストゲート株式会社 本社、大阪オフィス、笹目倉庫

薬品・廃液タンクの残液抜きや、洗浄による排水ドレンを安全に

これまでになかったテフロン（PFA）ライニング仕様ボトムフラッシュバル…

【FF-LFV】専用設計で便利！フッ素樹脂(PFA)ライニングボトムフラッシュバルブです。 本体内面の接液材質をすべてPFAにすることで、耐久性と清浄性を両立させました。 薬品タンクでは定期的な入れ替え時に、廃液タンクでは底面に溜まった不純物やゴミの排出時などに使えます。 医薬品、半導体、ファインケミカル、化成品、溶剤、生産効率アップ 【特長】 ■全面接液テフロン（PFA...

メーカー・取り扱い企業： 東葛テクノ株式会社

【詰まりのリスク回避】シンプル構造のPTFEライニングバルブ

シンプル構造で逆流防止。危険性が高い廃液配管や薬品配管ラインや超純水ラ…

【FF-LCB】は、異物が含まれる流体でも詰まりのリスクを回避できる、PFAライニングボールチャッキバルブ（check valve 止水弁 逆止弁 チャッキ弁）です。 本体内面の接液材をすべてPFAにすることで耐久性と清浄性を両立し、液体の危険性が高い廃液配管や薬品配管ライン、または高い純度が求められる半導体・純薬品・超純水ラインなどでご使用いただけます。 【特長】 ■全面接液テフロ...

メーカー・取り扱い企業： 東葛テクノ株式会社

キャップレス潜水ヒーター

薬液に合わせて、石英・ステンレス・チタン・フッ素樹脂などバリエーション…

潜水ヒーターシリーズは、谷口ヒーターズが特許防水システムを液中に沈めて加熱する電気ヒーターに採用したことにはじまり、「キャップレス潜水」と名付け、技術開発により潜水と安全にかかわる特許のほか、全基本モデルにCE（安全）マーク認証とIPX8を取得しています。1年間防水保証付。 ...液槽を選ばない液中没し型の潜水式薬液加熱ヒーター。 IPX8（JIS防水保護等級8）の防水性能。 CE（安全）マ...

メーカー・取り扱い企業： 谷口ヒーターズ株式会社 千葉事業所

【耐久性抜群】ダイヤフラムを採用したフッ素樹脂(PFA)バルブ弁

接液部全面テフロン(PFA)バルブ。フッ素樹脂ライニングバルブ。高い性…

【FF-LDI/FC-LDI】 内部構造を緻密に計算。高い性能と耐久性を誇ります。 流量の微調整ができるダイヤフラムバルブにEPDMシートを追加搭載。繰り返しの使用にも対応できる抜群の耐久性を備えました。 また、ライニングバルブ専用に設計された流路形状が、圧損を最小限に抑制します。 内面には全面PFAライニングを採用。耐薬品性・耐温度性が飛躍的に向上。 不純物溶出リスクも極限まで...

メーカー・取り扱い企業： 東葛テクノ株式会社

【耐薬品性・耐温度性の向上】全面フッ素樹脂ライニング配管

フランジ式 PFA PTFE フッ素樹脂 ライニングパイプ 配管 直管…

【FF-LPI/FC-LPI】は、様々な外装材質と面間で製造することが可能なフッ素樹脂（PFA/PTFE）ライニングのストレートパイプです。 内面に全面PFA/PTFEライニングを採用することで、耐薬品性・耐温度性が向上。不純物溶出リスクも大幅に抑えられます。 また軽量性と耐久性を兼ね備え、耐温度性と耐衝撃性も持ち合わせた樹脂外装タイプ【FC-LPI】も選択可能です。 【特長】 ...

メーカー・取り扱い企業： 東葛テクノ株式会社

【樹脂軽量タイプも可】フッ素(PFA)ライニングバタフライバルブ

耐久性＋耐薬品性、全面接液テフロンバルブ！プラント配管でニーズの多いラ…

【FF-LBF/FC-LBF】は、接液部全面にテフロン（PFA）ライニングを施した、フルライニング仕様のバタフライバルブです。 本体構造に専用の設計を施すことで、確かなライニング厚を実現。 さらに本体の材質は2種類から選択可能で、樹脂ボディなら配管軽量化にも大きく貢献できます。 【特長】 ■全面接液テフロン（PFA）ライニング ■確かな耐久性＋耐薬品性 ■独自設計で確かなラ...

メーカー・取り扱い企業： 東葛テクノ株式会社

【FF/FC-LDI】テフロンライニング ダイヤフラムバルブ

フッ素樹脂ライニングバルブ。内部構造を緻密に計算。高い性能と耐久性を誇…

【FF-LDI/FC-LDI】は、接液部全面にテフロン（PFA）ライニングを施したフランジ接続タイプのダイヤフラムバルブです。 流量の微調整が可能なダイヤフラムバルブにEPDMシートを追加した独自設計。 繰り返しの使用にも対応できる抜群の耐久性を備え、またライニングバルブ専用に設計された流路形状が、圧損を抑制します。 【特長】 ■全面接液テフロン（PFA）ライニング ■確かな...

メーカー・取り扱い企業： 東葛テクノ株式会社

【軽量・薄型チャッキバルブ】フッ素樹脂(PFA)ライニング弁

軽量・薄型で、流れ方向を制御できるスグレモノ。全面テフロン（PFA）ラ…

【FF-LCW】は、短面間で機械的な開閉が得意なテフロン（PFA）ライニングのウェハー式スイングチャッキバルブ、止水弁です。 本体内面の材質をすべてPFAにすることで、圧損をさらに減らした上で、耐久性と清浄性を大きく高めました。 【ポイント】 耐薬品性 PFAが持つ耐薬品性によって、腐食や劣化リスクを極限まで抑えることができます。 ゼロ溶出 PFAが誇る最高強度のC–F結合...

メーカー・取り扱い企業： 東葛テクノ株式会社

【事例】シリコンウエハー（半導体）洗浄のメカニズム

洗浄できている面積割合が、92％に到達することを明らかにした事例のご紹…

シリコンウエハー洗浄のメカニズムに関する事例をご紹介します。 ウルトラファインバブルの内部が高圧になる特性を利用して、 圧力波により固体表面の微粒子を除去する効果を実験的に検証。 1ミクロン以上の微粒子が除去され観察されなくなったこと、また、 洗浄できている面積割合が、92％に到達することを明らかにしました。 【洗浄効果】 ■洗浄前：359～472um2 ■超純水洗浄後：...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社OKエンジニアリング

超高精度モーターバルブ『MB/RCV』

電動で流路の切替が可能！高い動作耐久性とリニアな流量特性を持つモーター…

伸和コントロールズの『MB/RCV』は、医療機器分野や製薬・研究分野、 食品分野や半導体分野で活躍する、高精度モーターバルブです。 電動で流路の切替が可能。 動作耐久性が向上し、リニアな流量特性があります。 接液材質は樹脂を採用。 軽量コンパクトで、継手形状も様々です。 【特長】 ■電動で流路切替 ■接液材質は樹脂採用 ■継手形状も様々 ■リニアな流量特性 ■純水...

メーカー・取り扱い企業： 伸和コントロールズ株式会社

【TMF導入事例】マイクロエレクトロニクス工場(中国深セン市)

TMFのシステム導入が好適な選択である事を検証！工業廃水の処理･再生シ…

ダイシング、バックグラインドはシリカウェハの切削処理、薄化処理を行う 半導体デバイス製造の工程作業です。 これらの工程後、ウェハからシリカの微細粒子やその他の不純物質を 除去するために超純水(UPW)で洗浄が行われます。 この廃水は超純水にシリカの微細粒子が含有したものとなりますが、 それに加え研削液も混入している場合もあります。 この工業廃水を法令基準に合わせて排出する場...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アクアテクノロジー 環境事業部

フッ素樹脂（PFA/PTFE）を施したサニタリーライニングパイプ

【軽量化、耐薬品、静電気対策、生産・洗浄効率向上】全面フッ素樹脂（PF…

当社のサニタリーライニング配管【SFシリーズ】は接液部全面にフッ素樹脂・テフロン（PFA/PTFE） ライニングを施したサニタリーフィッティング配管です。 SFシリーズは、極めて高い洗浄性が実現できる全面接液フッ素樹脂フェルール構造を採用し、厚肉ライニングでありながらクランプ着脱が容易で、出荷時のノーピンホール保証が可能。 さらに、フッ素樹脂ホースメーカーとして創業した技術力を活かし、...

メーカー・取り扱い企業： 東葛テクノ株式会社

同心・偏心、口径も多数！フッ素樹脂PFAライニングレジューサー

コーティングに比べて圧倒的に耐久性が高く、内面に全面 PFA/PTF…

【FF-LCR/LER】は、接液部全面にテフロン（PFA/PTFE）ライニングを施したフランジ接続タイプの同心・偏心レジューサー。フッ素樹脂ライニング配管。 同心も、偏心も。ライニング配管のフレキシビリティを向上するテフロン（PFA/PTFE）ライニングレジューサー。ホース配管。継手。 コーティングに比べて耐久性が高く、内面に全面PFA/PTFEライニングを採用することで耐薬品性・耐温...

メーカー・取り扱い企業： 東葛テクノ株式会社