吸着再生式排ガス処理装置

エッチングプロセス用の湿式除害装置です。

プロセス用の湿式除害装置です。 Cl2、HBr、BCl3、HCl、HF、SiF4、etc対象ガスを、 従来の湿式除害では出来なかったTLV値以下まで除去することが可能です。 【特長】 ・吸着筒を水で再生するため、カートリッジは長寿命です。 ・水のみを使用するため、アルカリ汚染がありません。 ・水の使用量が少ないため、ランニングコストが低減できます。 ・気液接触部での詰まりが...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社

パイオクリンカートリッジ

パイオクリンカートリッジ

「パイオクリン」は各種の有害成分を化学的に吸着させ、排ガスから多種の有害物質を完全に 取り除きます。また、ドライタイプの除害剤のため、取扱いがきわめて簡単に行えるなど、 数々の優れた特長とメリットを備えています。 【特長】 ・水素化...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社

【総合カタログ】ガス関連機器『精製装置／排ガス処理装置』

多種多様な精製方式の精製装置や排ガス処理装置などを多数掲載。選定に役立…

料は、各種ガス精製装置や排ガス処理装置等の製造及び販売を 行っているエア・ウォーター・メカトロニクスの取り扱い製品を掲載した総合カタログです。 独自の触媒によりガスの高純度精製が可能な、常温吸着式精製装置 「VPEシリーズ」をはじめ、シンプルなフロー設計と、高い処理能力の パイオクリンカートリッジを組み合わせたパイオクリン乾式排ガス 処理装置「WGCシリーズ」などを掲載。 技術...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社

アンモニア分解除害装置

GaN製造プロセスの排ガス処理を目的とした除害装置です。

プロパン供給設備や排水設備は必要ありません。 　（但し、A20分解筒は水冷式を採用しております。） ・除害後のガス中は除害対象ガス濃度ACGIH/TLV-TWA値以下を保証します。 ・吸着再生型は後処理筒の除害剤交換の必要がなく、ランニングコストの低減ができます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社