多点風速計・超小型風速温度センサ

高さ9mmの超小型高精度な各種風速温度センサを利用した多点風速計。標準…

１つのセンサで温度と風速測定ができるユニークな超小型風速温度センサによる多点風速計。 標準で４ｃｈ～３２ｃｈまでの同時測定が可能。 各センサには個別IDが付帯して、スキャナーユニットのどこに接続してもセンサIDを自動認識して温度風速の高精度な自動計測を提供します。 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社シスコム（SysCom）

【分析事例】XPS多点測定による広域定量マッピング

最大70×70mm領域の組成分布評価

XPS多点測定による広域定量マッピングの事例をご紹介します。 シリコンウエハ上の有機物残渣について、以下の手順で評価いたしました。ピーク強度ではなく存在量（原子濃度）をグラフ化するため、試料凹凸等の影響を受...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】XRFによるウエハ上Au薄膜の面内膜厚評価

多点マッピング測定により膜厚分布を可視化

蛍光X線分析（XRF）では、元素分布や膜厚の簡便な評価が可能です。 本事例では、金属薄膜の評価事例として、4inchのSiウエハ上のAuの膜厚分布について多点マッピング測定をした事例をご紹介します。 多点マッピングを行うことで、各点のXRFスペクトルよりFP(Fundamental Parameter)法を用いてAu膜厚を算出し、測定座標より膜厚分布...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

気中ハンドヘルドパーティクルカウンタ『KC-52A』

タッチパネル式で多機能！多点モニタリングシステムに対応しています

【その他の特長】 ■多点モニタリングシステムに対応 ■タッチパネル式4.3インチカラー液晶パネルを採用 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： トスク株式会社(旧十慈フィールド)

振動モニタリングセンサー　２軸・３軸加速度計　多点での計測に最適

構造物等の振動解析に最適　低い加速度gの計測でモニタリングなど多くのセ…

【特徴その１　低価格】 内部の素子は従来の機種と同じ半導体素子を使用し、出力や精度はそのままに筐体などのパッケージングをローコスト化することにより低価格を実現しました。 価格は、形状は異なりますが弊社の取り扱う従来の同等スペック品に比べ1/3～1/5！！ 多くの場所を計測するうえで導入コストが抑えられます。 【特徴その２　計測レンジ】 計測レンジは±2Gと±6G。 1G以下の小さな...

メーカー・取り扱い企業： エフ・アイ・ティー・パシフィック株式会社

水素可視化システム Hydlog15

【水素が見える？】水素ガスのフェイルセーフツール

水素に触れると金属色から無色透明に変化する特殊な合金薄膜をセンサーヘッドに用い、レーザー光による反射率から水素検知を確認する多点同期計測システム。 光計測による本質安全防爆であるため、センサーサイズの小型化および100%水素雰囲気下でも安全に水素拡散・挙動が観測可能。...

メーカー・取り扱い企業： 九州計測器株式会社